標(biāo)準型硅片檢測顯微鏡TGB-500詳細技術(shù)參數(shù)一、儀器用途　TGB-500透反射式硅片檢測顯微鏡主要用于太陽能電池硅片的觀察.它能生產(chǎn)高清晰的圖像,立體感較強，成像較清晰和寬闊，又具有長工作距離，并具有較大的視場范圍和相應(yīng)的放大倍數(shù),配有高像素的數(shù)碼攝像頭,可以很清楚地看到硅片的"金字塔"的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析服務(wù).是太陽能電池硅片的普遍專用顯微鏡

詳細介紹

標(biāo)準型硅片檢測顯微鏡 TGB-500詳細技術(shù)參數(shù)

一、儀器用途

　TGB-500 透反射式硅片檢測顯微鏡主要用于太陽能電池硅片的觀察.它能生產(chǎn)高清晰的圖像,立體感較強，成像較清晰和寬闊，又具有長工作距離，并具有較大的視場范圍和相應(yīng)的放大倍數(shù),配有高像素的數(shù)碼攝像頭,可以很清楚地看到硅片的"金字塔" 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析服務(wù).是太陽能電池硅片的普遍專用顯微鏡。
硅片檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析.雜質(zhì)包括: 顆粒、有機雜質(zhì)、無機雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍、發(fā)黑等現(xiàn)象，使磨片不合格. 是太陽能電池硅片生產(chǎn)企業(yè)進行質(zhì)量控制最普通的儀器.

二、技術(shù)參數(shù)

1.目鏡

類型	放大倍數(shù)	視場(mm)
大視野目鏡	10X	Φ22

2.物鏡

類別	放大倍數(shù)	數(shù)值孔徑(NA)	工作距離(mm)
明暗場無窮遠長距平場消色差物鏡	5X	0.12	9.7
	10X	0.25	9.3
	20X	0.40	7.2
	40X	0.60	3.7

3.光學(xué)放大倍數(shù)：50X 100X 200X 400X
4.三目鏡,傾斜30?,(內(nèi)置檢偏振片,可進行切換)
5.雙層機械移動式(尺寸:210mmX140mm,移動范圍:75mmX50mm)
6.粗微動同軸調(diào)焦, 微動格值:2μm,帶鎖緊和限位裝置
7.照明系統(tǒng)：落射 6V 20W 鹵素?zé)?亮度可調(diào),帶視場光欄、孔徑光欄、起偏振片,
透射 6V 20W 鹵素?zé)?亮度可調(diào),內(nèi)置視場光欄, 藍濾色片和磨砂玻璃
8.阿貝聚光鏡NA.1.25可上下升降
9.防霉:的防霉系統(tǒng)
10.成像系統(tǒng):高像素的CCD攝像頭

三、系統(tǒng)組成

(TGB-500)：1.硅片顯微微 2.適配鏡 3.CCD攝像器 4.A/D圖像采集卡

四、總放大參考倍數(shù)

TGB-500：50--2000倍

五、選購件

1.圖像測量軟件　　2.目鏡： 20X 10X(帶刻度)　　 3.物鏡：50X 60X 80X 100X

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