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實(shí)驗(yàn)室硅片檢測(cè)顯微鏡 TGB-900

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實(shí)驗(yàn)室硅片檢測(cè)顯微鏡TGB-900詳細(xì)技術(shù)參數(shù)一、儀器用途　TGB-900大平臺(tái)明暗場(chǎng)硅片檢測(cè)顯微鏡是適用于對(duì)太陽(yáng)能電池硅片的顯微觀察

詳細(xì)介紹

實(shí)驗(yàn)室硅片檢測(cè)顯微鏡 TGB-900詳細(xì)技術(shù)參數(shù)

一、儀器用途

　TGB-900 大平臺(tái)明暗場(chǎng)硅片檢測(cè)顯微鏡是適用于對(duì)太陽(yáng)能電池硅片的顯微觀察。本儀器配有大移動(dòng)范圍并能快速移動(dòng)的載物臺(tái)、落射照明器、長(zhǎng)工作距離的平場(chǎng)消色差物鏡、大視野目鏡，圖像清晰、襯度好，同時(shí)配有偏光裝置，及其高像素的數(shù)碼攝像頭。本儀器配有長(zhǎng)距平場(chǎng)消色差物鏡,使觀察硅片時(shí)圖像更加清晰,是檢測(cè)太陽(yáng)能電池硅片的"金字塔"  的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器。
　　硅片檢測(cè)顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測(cè)的位錯(cuò)、劃痕、崩邊等;還可以對(duì)硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析。雜質(zhì)包括 顆粒、有機(jī)雜質(zhì)、無(wú)機(jī)雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍(lán)、發(fā)黑等現(xiàn)象，使磨片不合格。是太陽(yáng)能電池硅片生產(chǎn)過(guò)程中的檢測(cè)儀器之一。


二、技術(shù)參數(shù)

1.目鏡
類型放大倍數(shù)視場(chǎng)(mm)
大視野目鏡10XΦ22
2.物鏡
類別放大倍數(shù)數(shù)值孔徑(NA)工作距離(mm)
長(zhǎng)距平場(chǎng)消色差物鏡5X0.1218.3
10X0.258.9
20X0.408.7
40X0.603.7
80X0.800.96
3.光學(xué)放大倍數(shù)：50X  100X   200X  400X  800X
 4.系統(tǒng)參考放大倍數(shù)：50X-2600X
 5.落射照明器：6V/20W鹵素?zé)?，亮度可調(diào)
 6.濾色片組：黃色、藍(lán)色、綠色、磨砂玻璃
 7.偏光裝置：可插入式起偏振片和三目頭內(nèi)置檢偏振片
 8.載物臺(tái)：(配有快速移動(dòng)裝置)
 　尺寸:250*230mm 移動(dòng)范圍:153*153mm[標(biāo)配]
 　尺寸:274*274mm 移動(dòng)范圍:203*203mm[選配]
 9.粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)，微動(dòng)手輪格值：0.002mm
 10.瞳距調(diào)節(jié)范圍：53-75m
 11.成像系統(tǒng):高像素的CCD攝像頭


三、系統(tǒng)組成

(TGB-900)：1.硅片顯微微   2.適配鏡    3.CCD攝像器   4.A/D圖像采集卡


 四、總放大參考倍數(shù)  

TGB-900：50--3800倍


 五、選購(gòu)件  

1.圖像測(cè)量軟件　　 2.目鏡： 10X(帶刻度)　　3.物鏡：50X   60X  100X

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