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M81 劃片貼膜機

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更新時間：2023-10-17 10:50:43瀏覽次數(shù)：290次

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所在地區(qū)：

產(chǎn)品簡介

M81劃片貼膜機該設備是手動上下料，手動拉膜，手動貼膜，自動壓膜，手動切割的貼膜設備，適用于半導體晶圓劃片制程前的貼膜工序

詳細介紹

M81 劃片貼膜機

該設備是手動上下料，手動拉膜，手動貼膜，自動壓膜，手動切割的貼膜設備，適用于半導體晶圓劃片制程前的貼膜工序。
優(yōu)勢：
兼容6、8英寸劃片環(huán)及3、4、5、6、8英寸晶圓，也可定制。
省膜，做6、8英寸劃片環(huán)可達到同等的省膜。
貼膜力由氣缸推力產(chǎn)生，貼膜壓力可參數(shù)化調整。
防靜電特氟龍?zhí)幚碚婵瘴脚_，溫度室溫~100℃可控。
晶圓放置臺采用浮動設計，且高度可調，因此可兼容貼更大范圍厚度的晶圓，且浮動的設計能更好地保護晶圓。
晶圓定位采用標線定位。
離型層自動纏繞回收，回收力可調。
膜料與放膜料筒之間的鎖緊無需借助任何工具。
正常貼磨過程中只需用到最右邊的按鈕，操作簡單。
采用氮氣彈簧撐，操作更省力。
主要元器件均采用進口品牌。

規(guī)格：

型號

M81

劃片環(huán)尺寸

6、8英寸，也可定制

晶圓規(guī)格

兼容4、5、6、8英寸晶圓，也可定制

晶圓厚度

150um - 800um

藍膜或UV膜

膜種類

寬度≤300mm, 膜料外徑≤200mm, 厚度0.05mm-0.2mm

電力供應

AC220V ,50/60 Hz, 5A

功率

小于400W

壓縮空氣

0.5Mpa清潔干燥壓縮空氣

外形尺寸

560mm×860mm×360mm

凈重

50kg

性能：

晶圓收益：≥99.9%

貼膜質量：沒有氣泡（不包括碎粒氣泡）

產(chǎn)能：≥90片/小時

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