● Failure analysis 集成電路失效分析 ● Wafer level reliability 晶圓可靠性認(rèn)證● Device characterization 元器件特性量測(cè) ● Process modeling 塑性過(guò)程測(cè)試(材料特性分析)● IC Process monitoring 制程監(jiān)控 ● Package part probing IC封裝階段打線品質(zhì)測(cè)試● ESD&TDR testing ESD和TDR測(cè)試 ● Microwave probing 微波量測(cè)(高頻)● Solar太陽(yáng)能領(lǐng)域檢測(cè)分析 ● LED、OLED、LCD領(lǐng)域檢測(cè)分析

詳細(xì)介紹

經(jīng)濟(jì)型6寸探針臺(tái)MPW-600

參數(shù)列表如下:

項(xiàng) 目		性能指標(biāo)	備注
可測(cè)圓片尺寸		4，6 inch
X、Y工作臺(tái)	行程	X/Y：4 inch x 4 inch
	分辨率	1μm
	控制	進(jìn)口導(dǎo)軌
CHUCK	平面度	≤10μm	背面需要加電極（可選）
CHUCK	晶圓固定方式	真空吸附，分檔控制	背面需要加電極（可選）
Chuck Z軸（可選）	行程	10mm
Chuck Z軸（可選）	分辨率	1μm
Chuck θ軸（可選）	微調(diào)范圍	±7 o （分辨率為0.1°）
Platen 平臺(tái)	材料	非拋光型不銹鋼+特種鋁合金
Platen 平臺(tái)	容量	4個(gè)DC針座或者2個(gè)RF針座
上、下片	方式	手動(dòng)
上、下片	行程	90 mm
顯微鏡	配置	（1）體式顯微鏡目鏡：20X 變倍范圍：0.75X-5X 總放大倍數(shù)：15x-100x LED 光源照明（2）金相顯微鏡目鏡：20x Zoom：1-2x 物鏡：2x，10x，20x，50x 總放大倍數(shù)：20x-1000x 光纖光源系統(tǒng)	根據(jù)客戶測(cè)試參數(shù)要求而定
	行程	X/Y: 2inch x 2inch (分辨率：1um) Z: 2inch
	抬起功能	顯微鏡可抬起，便于切換鏡頭。抬起后可以鎖定，防止掉落。
屏蔽罩（可選）		L800W600H1100mm
防震桌（可選）		WDH:1100800900mm

可選附件：

● 射頻測(cè)試探頭及電纜 ● 有源探頭 ● 低電流/電容模塊 ● 高壓模塊 ● 激光修復(fù) ● 高清數(shù)字相機(jī) ● 探針卡/封裝/PCB板夾具 ● Hot Chuck

兼容測(cè)試儀器 :

● 各種型號(hào)示波器 ● 各種品牌型號(hào)的源表 ● 是德B1500、4155、4156 ● 泰克4200 ●各品牌的網(wǎng)絡(luò)分析儀

MPW-600 探針臺(tái)安裝環(huán)境要求

A 操作環(huán)境要求:

環(huán)境溫度：18-28°C

相關(guān)濕度：20%-60%

現(xiàn)場(chǎng)要求：水平地板且足夠承受設(shè)備重量

較小的機(jī)械震動(dòng)

通風(fēng)良好且無(wú)陽(yáng)光直射

靠近電源設(shè)備

切勿靠近易爆、有毒氣體

B 設(shè)備要求:

4	電源	系統(tǒng)：無(wú)
		配件： ? 220V 交流額定值，50Hz ? 真空泵：220V/50HZ, 14W, 0.16A ? 空壓機(jī)：220V/50HZ，額定電流2.8A，輸出功率580W ? CCD：輸入220V/50HZ，額定電流0.31A；輸出12V/1.0A ? 顯微鏡光源：220V, 50HZ, 200W
5	壓縮空氣	空氣要求	氣壓	流量	連接器外徑
		潔凈、干燥、無(wú)油（防震臺(tái)用）	0.4-0.6 MPa (58-87 psi)	/	6mm

6	真空	/	<400mbar absolute，-610mbar gage	5 l/min（0.18 CFM）at SATP	6mm

C 運(yùn)輸和安裝要求:

7	外形尺寸	物理尺寸（WxDxH）	500mm寬* 600mm長(zhǎng)* 700mm高（含顯微鏡）
			屏蔽箱：800mm長(zhǎng)600mm寬1100mm高
			防震桌：1200mm長(zhǎng)800mm寬800mm高
		貨運(yùn)尺寸（WxDxH）	探針臺(tái)及配件貨箱：980 x 840 x 900mm
			屏蔽箱貨箱：950 x 750 x 1150mm
			防震桌貨箱：1200 x 810 x 720mm
8	重量	探針臺(tái)重量	50 kg
		貨運(yùn)重量（帶包裝）	探針臺(tái)及配件貨箱：80 kg
			屏蔽罩（帶防震臺(tái)）：300kg

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