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MI4050是具有以下特征的高性能聚焦離子束系統(tǒng)：新型電子光學(xué)系統(tǒng)，可達(dá)到高水準(zhǔn)的SIM像分辨率?大束流使加工速度得以提升?提高了低加速電壓的分辨率，使得高品質(zhì)TEM樣品制備成為可能可用于截面加工觀察，高品質(zhì)TEM樣品制備，電路修復(fù)，Vector Scan加工，微納米級(jí)微細(xì)圖形及磨具加工，利用沉積功能制作3維構(gòu)造等眾多樣品加工應(yīng)用。
MI4050是具有以下特征的高性能聚焦離子束系統(tǒng)：新型電子光學(xué)系統(tǒng)，可達(dá)到高水準(zhǔn)的SIM像分辨率?大束流使加工速度得以提升?提高了低加速電壓的分辨率，使得高品質(zhì)TEM樣品制備成為可能
可用于截面加工觀察，高品質(zhì)TEM樣品制備，電路修復(fù)，Vector Scan加工，微納米級(jí)微細(xì)圖形及磨具加工，利用沉積功能制作3維構(gòu)造等眾多樣品加工應(yīng)用。
| 項(xiàng)目 | 內(nèi)容 |
|---|---|
| 樣品尺寸 | 50mm×50mm×12mm（t）以下 |
| 樣品臺(tái) | 5軸電動(dòng)機(jī)械優(yōu)中心馬達(dá)臺(tái) |
| 加速電壓 | 1～30kV?。?.5kV～ 選配） （0.5～1.0kV ： 步長(zhǎng)0.1kV） （1.0～2.0kV ： 步長(zhǎng)0.2kV） |
| 二次電子分辨率 | 4nm＠30kV |
| 探針電流 | 90nA |
| 探針電流密度 | 50A/cm2 |
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