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TAC-100 全自動硅片插片機

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產品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地無錫市

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更新時間:2024-12-08 02:22:39瀏覽次數(shù):45次

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經營模式:其他

商鋪產品:38條

所在地區(qū):江蘇無錫市

產品簡介

一、主要參數(shù)1.外形尺寸2800L×2200W×2100H(mm)2.花籃規(guī)格100片3.硅片尺寸156mm4.硅片厚度150~200um5.適用硅片砂漿線(單晶硅、多晶硅)、金剛線(單晶硅、多晶硅)

詳細介紹




一、主要參數(shù)

1. 外形尺寸    2800L×2200W×2100H(mm)

2. 花籃規(guī)格    100片

3. 硅片尺寸    156mm

4. 硅片厚度    150~200um   

5. 適用硅片    砂漿線(單晶硅、多晶硅)、金剛線(單晶硅、多晶硅)。

6. 發(fā)片效率    7000片/小時(未包含換盒及上料時間)

7. 碎片率      ≤0.2% (除硅片自身原因)

8. 控制系統(tǒng)    PLC可編程控制器,交流伺服系統(tǒng)

9.照像系統(tǒng)     檢測碎片和疊片并自動分選

10.氣壓        0.5~0.55Mpa 干燥氣體

11.氣源流量    進氣管口徑≥10mm

12.電源        AC220V(單相三線)、50HZ

13.設備功率    3.0KW

二.特點介紹

1. 硅片帶離原理:

我們摒棄常規(guī)直接吸取硅片方式而是通過吸水(硅片和輸送帶始終有一定的間距),使得分離后的硅片會順著水流方向靠向輸送帶無接觸式帶離,對硅片無任何損傷。同時該技術已為超?。ǎ?/font>140mm)的硅片使用全自動插片機奠定了基礎;

分片機構可對任何狀態(tài)的硅片進行均勻分離;

以上二項技術南亞自行研發(fā),并已申請二項發(fā)明。

2.硅片的帶片速度取決于輸送帶的轉速,非開關模式的運行模式連續(xù)又平穩(wěn);轉速根據(jù)工況設定(通常分片速度為7000/小時);

3.帶片/上料部分結構簡易合理;水下幾乎無運動部件,極大地減少使用過程中對設備的維護保養(yǎng)工作;

4.硅片上料盒可在前道工序脫膠后直接裝入硅片,減少周轉環(huán)節(jié),方便操作人員實現(xiàn)一人多機工作;

5.異常硅片經視覺系統(tǒng)判斷后采用硅片分選機原理,對異常硅片識別后自動分離;

6.為避免水路堵塞,水箱帶過濾功能,水路帶反沖功能。

三.控制系統(tǒng)

1. 采用三菱可編程控制器,功能齊全運行可靠;

2. 運行模式和程序參數(shù)均可在觸摸屏上設定 ;

3. 配置三菱交流伺服系統(tǒng)進行高精度定位;

4. OMRON高靈敏度傳感器監(jiān)控,實現(xiàn)設備完備的系統(tǒng)運行保障;

5. 動態(tài)日志管理;

6. 故障監(jiān)控、診斷、報警及設備保養(yǎng)需求的自動生成。

 四.視覺系統(tǒng)

1. 德國堡盟(Baumer)視覺系統(tǒng)對輸送過程中異常硅片進行視覺判斷?;谳喞墓ぷ髂J剑?60°目標識別功能確保全面、可靠的特征檢查

2. 硅片異常的范圍(精度)用戶可根據(jù)實際需要自行設定;

3. 采用紅外光源,減小外部光源對檢測結果的影響;

4. 支持IE瀏覽器遠程查看


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