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多工位磁控濺射鍍膜機(jī)

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地深圳市

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所在地區(qū)：廣東深圳市

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

多工位磁控濺射鍍膜機(jī)可同時(shí)放置多片基片，適應(yīng)研發(fā)線或中試線的小批量生產(chǎn)

詳細(xì)介紹

多工位磁控濺射鍍膜機(jī)可同時(shí)放置多片基片，適應(yīng)研發(fā)線或中試線的小批量生產(chǎn)。矽碁提供的可公轉(zhuǎn)基片載臺(tái)方便客戶靈活調(diào)整各基片對(duì)應(yīng)不同靶位。預(yù)裝矽碁自主研發(fā)的工業(yè)級(jí)全自動(dòng)控制系統(tǒng)，設(shè)備可按預(yù)設(shè)工藝流程進(jìn)行自動(dòng)生產(chǎn)。工藝重復(fù)性優(yōu)于 ±3%，有效保證生產(chǎn)穩(wěn)定性。


技術(shù)參數(shù)：

1 本底真空10-7 Torr；

2 多基片設(shè)計(jì)，數(shù)量、尺寸可定制；

3 基片臺(tái)可公轉(zhuǎn)、自轉(zhuǎn)并加熱：300℃/500℃/800℃；

4 最多可拓展6支磁控濺射靶槍，6個(gè)工位；

5 靶槍濺鍍距離可調(diào)，可升級(jí)強(qiáng)磁靶；

6 防交叉污染遮板設(shè)計(jì)；

7 可配備樣品預(yù)清洗功能；

8 可配備快速進(jìn)樣室；

9 可配備自動(dòng)壓力控制系統(tǒng)；


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