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行業(yè)產(chǎn)品

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量產(chǎn)型原子層沉積

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地深圳市

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更新時(shí)間：2024-09-05 10:02:27瀏覽次數(shù)：113次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：54條

所在地區(qū)：廣東深圳市

聯(lián)系人：瞿經(jīng)理

產(chǎn)品簡介

特殊的腔體設(shè)計(jì)和工藝設(shè)計(jì)，可以使得ALD技術(shù)應(yīng)用于工業(yè)量產(chǎn)，并且可以提高鍍膜效率

詳細(xì)介紹

特殊的腔體設(shè)計(jì)和工藝設(shè)計(jì)，可以使得ALD技術(shù)應(yīng)用于工業(yè)量產(chǎn)，并且可以提高鍍膜效率。矽碁可根據(jù)用戶的需求定制設(shè)備。


技術(shù)參數(shù)：

1 不銹鋼腔體，雙層加熱設(shè)計(jì)；

2 等離子體增強(qiáng)模塊集成于腔體上蓋；

3 進(jìn)口高速ALD隔膜閥；

4 基片尺寸可以定制；

5 基片加熱400℃；

6 最多可提供6路前驅(qū)物和6路工藝氣體；

7 氣路全金屬密封，并可加熱至120℃；

8 可提供前驅(qū)體鋼瓶加熱或冷卻；

9 可全自動(dòng)控制工藝過程，同時(shí)也可以手動(dòng)操作。

10 量產(chǎn)型設(shè)計(jì)，可以全自動(dòng)化


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