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MX63/MX63L半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡

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更新時間：2024-09-04 09:36:25瀏覽次數(shù)：138次

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產(chǎn)品簡介

滿足電子行業(yè)需求功能性為滿足電子行業(yè)的人體工學(xué)和安全性要求而設(shè)計的附加功能以增強分析能力人性化簡潔的顯微鏡設(shè)置使用戶調(diào)整和再調(diào)用系統(tǒng)配置變得更為輕松

詳細(xì)介紹

滿足電子行業(yè)需求

功能性

為滿足電子行業(yè)的人體工學(xué)和安全性要求而設(shè)計的附加功能以增強分析能力

人性化

簡潔的顯微鏡設(shè)置使用戶調(diào)整和再調(diào)用系統(tǒng)配置變得更為輕松。

的成像技術(shù)

我們成熟可靠的光學(xué)器件和優(yōu)良的成像技術(shù)可獲得清晰圖像，并完成可靠檢測。

模塊化

用戶可通過選擇適合其應(yīng)用的模塊進(jìn)行系統(tǒng)定制。

的分析工具

MX63系列的各種觀察功能可生成清晰的圖像，讓用戶能夠?qū)悠愤M(jìn)行可靠的缺陷檢測。全新
照明技術(shù)以及奧林巴斯Stream圖像分析軟件的圖像采集選項為用戶評估樣品和存檔檢測結(jié)
果提供更多選擇。

從不可見到可見：MIX觀察與采集
通過暗場與明場、熒光或偏光等其他觀察方法結(jié)合使用，MIX觀察技術(shù)能夠獲得特殊的觀察圖像。MIX觀察技術(shù)可讓用戶發(fā)現(xiàn)用傳統(tǒng)顯微鏡難以觀察的缺陷。暗場觀察所用的環(huán)形LED照明器具有可四象限分段照明的定向暗場功能。該功能可減少樣品光暈，有助于觀察樣品的表面紋理。

輕松生成全景圖像:即時MIA

利用多圖像拼接(MIA)功能, 用戶移動手動載物臺上的XY旋鈕即可輕松快速地完成圖像拼接—電動載物臺無需該操作。奧林巴斯Stream軟件利用圖案識別生成全景圖像，讓用戶獲得更寬的視場。

生成全聚焦圖像:EFI

奧林巴斯Stream軟件的擴展聚焦成像(EFI) 功能可采集高度超出景深范圍的樣品圖像。EFI將這些圖像堆疊在一起生成單幅全聚焦樣品圖像。EFI配合手動或電動Z軸載物臺使用，可輕松生成結(jié)構(gòu)可視化的高度圖像。EFI圖像可在奧林巴斯Stream桌面軟件內(nèi)離線生成。

利用HDR采集明亮區(qū)域和暗光區(qū)域

利用的圖像處理技術(shù)，高動態(tài)范圍(HDR)可在圖像內(nèi)調(diào)整亮度差異，以減少眩光。HDR改善了數(shù)字圖像的視覺品質(zhì)，從而有助于生成具有專業(yè)級的報告。

從基本測量到高級分析

測量對于品質(zhì)、工藝控制和檢測非常重要?；谶@一想法，即便入門級奧林巴斯Stream軟件包也包括交互測量功能的全部菜單，并且所有測量結(jié)果與圖像文件一起保存以便日后調(diào)用文檔。此外，奧林巴斯Stream材料解決方案可為復(fù)雜圖像分析提供直觀的工作流界面。點擊按鈕，圖像分析任務(wù)即可快速精準(zhǔn)完成?？纱蠓瓤s減重復(fù)性任務(wù)的處理時間，使操作人員的精力集中在檢測工作上。

高效的報告創(chuàng)建
創(chuàng)建報告所用的時間常常比采集圖像和測量還長。奧林巴斯Stream軟件提供了直觀的報告創(chuàng)建功能，能夠根據(jù)預(yù)先設(shè)定的模板多次創(chuàng)建專業(yè)復(fù)雜的報告。編輯非常簡單，報告可導(dǎo)出為MicrosoftWord或PowerPoint文件。此外，奧林巴斯Stream報告功能能夠?qū)Σ杉膱D像進(jìn)行數(shù)碼變焦和倍率放大。報告文件大小適中，通過電子郵件進(jìn)行數(shù)據(jù)傳遞更加方便。

獨立相機選項
測量對于品質(zhì)、工藝控制和檢測非常重要?；谶@一想法，即便入門級奧林巴斯Stream軟件包也包括交互測量功能的全部菜單，并且所有測量結(jié)果與圖像文件一起保存以便日后調(diào)用文檔。此外，奧林巴斯Stream材料解決方案可為復(fù)雜圖像分析提供直觀的工作流界面。點擊按鈕，圖像分析任務(wù)即可快速精準(zhǔn)完成?？纱蠓瓤s減重復(fù)性任務(wù)的處理時間，使操作人員的精力集中在檢測工作上。使用DP22或DP27顯微鏡相機的MX63系列是一套的獨立系統(tǒng)。該相機采用幾乎不占空間的緊湊型控制盒控制，在采集清晰圖像以及進(jìn)行基本測量工作的同時讓實驗室空間得到充分利用。

直觀的顯微鏡控制：舒適且使用方便

顯微鏡設(shè)置操作簡單，讓用戶調(diào)整和再調(diào)用系統(tǒng)配置更加輕松。

快速尋找焦點：聚焦輔助

在光程內(nèi)插入聚焦輔助可以輕松無誤地實現(xiàn)諸如裸晶片之類低對比度樣品的對焦。在焦平面上的網(wǎng)格對焦讓您的樣品對焦更加簡單。

利用光強管理器和自動孔徑控制實現(xiàn)快速觀察

對于常規(guī)顯微鏡，使用者每次觀察都需要調(diào)整光強度和孔徑。MX63系列讓使用者能夠針對不同的倍率和觀察方法設(shè)定光強和孔徑條件。這些能夠輕松調(diào)用的設(shè)置即可幫助使用者節(jié)省時間又可獲得優(yōu)良的圖像質(zhì)量。

人體工學(xué)設(shè)計實現(xiàn)更快、更舒適的操作

更換物鏡以及調(diào)整孔徑光闌的控制器位于顯微鏡前面較低的位置，因此使用者在使用過程中無須松開對焦旋鈕或?qū)㈩^從目鏡上移開。

為質(zhì)量檢驗提供精細(xì)的光學(xué)性能和數(shù)碼成像技術(shù)

奧林巴斯研發(fā)高質(zhì)量光學(xué)器件和數(shù)碼成像技術(shù)的悠久歷史成就了具有測量精度的
一系列可靠光學(xué)器件和顯微鏡。

的光學(xué)性能：
波陣面像差控制

物鏡鏡頭的光學(xué)性能對于觀察圖像品質(zhì)和分析結(jié)論有著直接的影響。奧林巴斯UIS2高倍率物鏡可極大限度減小波陣面像差，從而獲得可靠的光學(xué)性能。

始終一致的色溫：
高強度白色LED照明

MX63系列采用高強度白色LED光源進(jìn)行反射和透射照明。無論光強度如何，LED光源均可保持始終如一的色溫，從而實現(xiàn)可靠的圖像質(zhì)量和色彩復(fù)現(xiàn)。LED系統(tǒng)可提供非常適合材料科學(xué)應(yīng)用的高效率、長壽命照明。

精確測量：自動校準(zhǔn)

與數(shù)碼顯微鏡類似，當(dāng)使用奧林巴斯Stream軟件時可實現(xiàn)自動校準(zhǔn)。自動校準(zhǔn)有助于消除校準(zhǔn)過程中的人為偏差，保證了更可靠的測量。自動校準(zhǔn)采用的算法可根據(jù)多個測量點均值自動
計算正確的校準(zhǔn)值。由此極大限度減小了因不同操作者所導(dǎo)致的偏差，并始終保持穩(wěn)定的精度，提高了常規(guī)驗證的可靠性。

清晰的圖像：
圖像陰影校正

奧林巴斯Stream軟件具有解決圖像角落周邊陰影問題的陰影校正功能。在配合強度閾值設(shè)置使用時，陰影校正可實現(xiàn)更加精確的分析。

		MX63	MX63L
光學(xué)系統(tǒng)		UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無限遠(yuǎn)校正系統(tǒng))
顯微鏡鏡架	反射光照明	白光LED (帶有光強度控制器) 12伏100瓦鹵素?zé)? 100瓦汞燈明場/暗場/分光鏡組件手動切換。(反射鏡分光鏡組件為選配件。) 通過手動操作調(diào)整3位編碼分光鏡組件內(nèi)置電動孔徑光闌（針對所有物鏡預(yù)設(shè)，暗場自動打開）觀察模式：明場、暗場、微分干涉相襯（DIC）1、簡易偏光 1、熒光 1、紅外 1 和MIX觀察（4個定向暗場）2 1選配分光鏡組件，*2 需使用MIX觀察配置
	透射光照明	透射光照明裝置：需使用MX-TILLA或MX-TILLB。 - MX-TILLA：聚光鏡（NA 0.5）和孔徑光闌 - MX-TILLB：聚光鏡（NA 0.6），孔徑光闌以及視場光闌光源：LG-PS2 (12 V, 100 瓦鹵素?zé)? 光導(dǎo): LG-SF 觀察模式: 明場、簡易偏光
	聚焦	行程：32毫米每轉(zhuǎn)行程微調(diào)：100微米最小分度: 1微米用于粗調(diào)的上限限位器和扭矩調(diào)節(jié)
	載荷重量(包括載物臺和支架)	8公斤	15公斤
觀察筒	寬視場(FN 22毫米)	正像三目鏡筒：U-ETR4 正像、可調(diào)傾角三目鏡筒: U-TTR-2 倒像三目鏡筒: U-TR30-2、U-TR30IR (用于紅外觀察) 倒像雙目鏡筒: U-BI30-2 倒像可調(diào)傾角雙目鏡筒：U-TBI30
	超寬視場(FN 26.5毫米)	正像可調(diào)傾角三目鏡筒：MX-SWETTR (光程切換99% (目鏡) : 0 (相機) 或 0 : 99%) 正像可調(diào)傾角三目鏡筒: U-SWETTR (光程切換99% (目鏡) : 0 (相機) 或 20% : 80%) 倒像三目鏡筒: U-SWTR-3
電動物鏡轉(zhuǎn)換器		明場帶DIC插槽的電動六孔：U-D6REMC 帶DIC插槽的電動定心五孔：U-P5REMC 明場和暗場帶DIC插槽的電動六孔：U-D6BDREMC 帶DIC插槽的電動五孔：U-D5BDREMC 帶DIC插槽的電動定心五孔：U-P5BDREMC
載物臺 (X × Y)		帶內(nèi)置離合驅(qū)動的同軸右手柄：MX-SIC8R 行程: 210 x 210毫米透射光照明區(qū)域：189 x 189毫米帶內(nèi)置離合驅(qū)動的同軸右手柄：MX-SIC6R2 行程: 158 x 158毫米 (僅適用于反射光)	帶內(nèi)置離合驅(qū)動的同軸右手柄：MX-SIC1412R2 行程: 356 x 305毫米透射光照射區(qū)域：356 x 284毫米
重量		約35.6公斤 (顯微鏡架26公斤)	約44公斤 (顯微鏡架28.5公斤)