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冠乾科技（上海）有限公司


Dimension 掃描頭

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VeecoD3100DimensionHead(AFMScanner)VeecoD3100掃描頭(AFMScanner)掃描范圍：90um*90umDimension3100SPM使用自動(dòng)化的原子力顯微鏡和掃描隧道顯微鏡技術(shù)

詳細(xì)介紹

Veeco D3100 Dimension Head ( AFM Scanner )

Veeco D3100 掃描頭 ( AFM Scanner )

 

掃描范圍：90um*90um

Dimension 3100 SPM使用自動(dòng)化的原子力顯微鏡和掃描隧道顯微鏡技術(shù)，可用來(lái)測(cè)量直徑可達(dá)200毫米的半導(dǎo)體硅片、刻蝕掩膜、磁介質(zhì)、CD/DVD、生物材料、光學(xué)材料和其它樣品的表面特性。它的激光點(diǎn)定位系統(tǒng)和無(wú)需工具改變掃描技術(shù)的能力保證了儀器的適用性、易操作性和高的數(shù)據(jù)處理能力。


儀器名稱： Dimension3100原子力顯微鏡
型         號(hào)： Dimension 3100
生產(chǎn)廠家： Veeco

主要配置：

– Dimension 3100 掃描頭和Nanoscope IIId控制器
– 樣品尺寸可達(dá)到8英寸晶圓，測(cè)量區(qū)域可達(dá)到6英寸范圍。
– 全面的表面局域電學(xué)測(cè)量模塊(SCM/CAFM/SSRM，與Multimode共用)

性能指標(biāo)：

同主要用途

主要用途：

– 表面形貌、成分分辨
    ?   具備接觸、輕敲等多種模式成形貌像，XY分辨率0.25nm，Z噪聲<0.05nm
    ?   摩擦力圖像、定量相位圖像
– 表面局域電場(chǎng)力、磁場(chǎng)力和表面電勢(shì)：
    ?   電場(chǎng)力、磁場(chǎng)力圖像
    ?   表面電勢(shì)可分辨表面兩點(diǎn)電勢(shì)差值，分辨率10mV
– 載流子濃度、氧化層缺陷、局域?qū)щ娦?br>     ?   掃描電容模塊(SCM)可測(cè)量dc/dV曲線，表征表面局域載流子濃度、氧化層缺陷等
    ?   導(dǎo)電原子力(CAFM) 可測(cè)量I/V曲線，表征表面局域?qū)щ娦?。偏壓范?mV-12V，電流范圍10nA-1uA
    ?   掃描擴(kuò)展電阻(SSRM)可測(cè)量表面電阻分布，表征局域?qū)щ娦院洼d流子濃度等。偏壓范圍1mV-12V，電流范圍10pA-1mA
– 納米加工
    ?    可編程控制針尖動(dòng)作和測(cè)量過(guò)程，對(duì)表面進(jìn)行納米操縱、刻蝕等

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