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高純氣露點變送器

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米歇爾集團上海工程技術(shù)有限公司

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聯(lián)系人：陳先生

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產(chǎn)品簡介

MichellPura變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點傳感器生產(chǎn)和校驗的專業(yè)經(jīng)驗，結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)化的材料和制造流程，打造出的適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用的低價位變送器

詳細介紹

Michell Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點傳感器生產(chǎn)和校驗的專業(yè)經(jīng)驗，結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)化的材料和制造流程，打造出的適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用的低價位變送器。
Michell Pura下限低至驚人的-120°C (相當(dāng)于不到 1 ppbV)
亮點
測量下限 -120°C 露點 (1 ppbV)
測量穩(wěn)定，重復(fù)性好
高度集成的采樣裝置
模擬和數(shù)字輸出
安裝簡便
VCR 過程接口
設(shè)計緊湊小巧
顯示/報警單元可選
技術(shù)指標(biāo)

傳感器
傳感器類型密析爾陶瓷濕度傳感器
量程 -120 ~ -40°C 露點 (校驗到 -100 ~ -40°C)
精度 ±1°C -40 ~ -60°C;
±2°C -61 ~ -100°C;
±4°C -101 ~ -120°C (估算值)
分辨率 0.1°C -40 ~ -79.9°C;
1°C -80 ~ -100°C;
1 ~ 3°C -100 ~ -120°C
壓力 10-9 torr; 24 MPa
氣體流量 1 ~ 5 Nl/min
電氣
電源通常 24 V DC, 10 V ~ 28 V , 電流 25 mA
輸出 4-20 mA 輸出, 對應(yīng)范圍可由專用軟件調(diào)整, 調(diào)整量程從 1 ~ 80°C (標(biāo)配提供)
負載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8)
輸出出錯狀態(tài) 標(biāo)準(zhǔn)輸出出錯信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限
機械性能
傳感器套筒不銹鋼, 0.1-0.2 Ra μm 電鍍內(nèi)拋光
氣路連接端口 Premium 或 OEM 型: ?" m VCR 接口
Pura Sensor 型: ?" m VCR 接口
安裝配置 Premium 或 OEM 型: 120.00mm 長, 氣路端口的端面密封. 無需預(yù)留管路空隙
底座上有 2 個 M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 斜對面橫豎間距均為 20 x 20mm
Michell Pura Sensor 型: 適用于用戶提供的 ?" VCR 端口中
尺寸 Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm
Pura Sensor 型: 132 x 35mm
重量 Premium 或 OEM 型: 450g
Michell Pura Sensor 型: 180g
包裝 Michell Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封
Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 單層包裝
所有選配件: 獨立包裝運輸
Sensor 型在傳感芯片端自帶保護套,用以運輸及操作

Pura 高純氣露點變送器

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