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沈陽和研科技有限公司


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減薄貼膜機

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更新時間:2023-10-13 10:33:26瀏覽次數(shù):230次

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產(chǎn)品簡介

MT80 68手動減薄貼膜機; MT120 12手動減薄貼膜機; MT82 68自動減薄貼膜機; MT122 12自動減薄貼膜機;

詳細介紹

產(chǎn)品參數(shù) 產(chǎn)品詳情
型號MT80MT120MT82MT112
工件尺寸6″&8″12″6″&8″12″
晶圓厚度500-1000μm500-1000μm300-750μm300-750μm
膜類型藍膜&UV膜
膜厚度0.05-0.2mm
膜長度≦100m
膜寬度220-250mm240-350mm220-250mm240-350mm
工作臺防靜電特氟龍?zhí)幚?/td>
加熱溫度室溫-150℃
效率80片/小時75片/小時75片/小時70片/小時
供氣0.5Mpa潔凈干燥壓縮空氣
供電AC220V,10AAC220V,10AAC220V,16AAC220V,16A
外形尺寸
W*D*H
390mm*770mm*610mm480mm*850mm*610mm650mm*880mm*500mm600mm*960mm*500mm
重量50kg60kg75kg90kg


功能介紹:

1、MT80&MT120

*的防靜電滾輪貼膜;

手動拉膜及貼膜;

手動晶圓上下料;

晶圓邊沿無飛邊切割技術;

結構合理換刀方便;

工作臺浮動設計,高度可調(diào);

離型膜自動纏繞回收;

可根據(jù)需求做定制化;

2、MT82&MT122

*的防靜電滾輪貼膜;

防靜電離子風機;

自動膠膜傳送及貼覆;

貼膜壓力及速度均可調(diào);

手動晶圓上下料;

晶圓邊沿無飛邊切割技術;

基于PLC程序控制;

可根據(jù)需求做定制化;


適用于半導體晶圓減薄制程中的貼膜工藝。

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