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行業(yè)產(chǎn)品

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磐石創(chuàng)新（江蘇）電子裝備有限公司


機(jī)械手

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地徐州市

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更新時(shí)間：2023-10-09 12:15:54瀏覽次數(shù)：128次

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經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：10條

所在地區(qū)：江蘇徐州市

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

機(jī)械手

詳細(xì)介紹

設(shè)備簡(jiǎn)介

機(jī)械手做為晶片搬運(yùn)和鍍膜工藝過程轉(zhuǎn)換中的執(zhí)行元件，在半導(dǎo)體行業(yè)中廣泛應(yīng)用。該產(chǎn)品采用*的結(jié)構(gòu)，提高了手臂的剛性，并有效抑制振動(dòng)，輕量化設(shè)計(jì)滿足高速要求。具有多重安全保護(hù)功能。肘部和腕部靈活控制，更節(jié)省空間，適應(yīng)性更強(qiáng)。是半導(dǎo)體行業(yè)關(guān)鍵部件之一。

技術(shù)參數(shù)

結(jié)構(gòu)形式 柱坐標(biāo)型/SCARA型
負(fù)載 名稱 晶圓
直徑 Φ200mm/Φ300mm
重量 ≤0.5kg
自由度數(shù) 3
回轉(zhuǎn)直徑 520mm
運(yùn)動(dòng)范圍 升降軸 (Z軸) 50mm
回轉(zhuǎn)軸 (T軸) 360°
伸展軸 (R軸) R750mm
速度 升降軸 (Z軸) 300mm/s
回轉(zhuǎn)軸 (T軸) 360°
伸展軸 (R軸) 800mm/s
重復(fù)定位精度 升降軸 (Z軸) ±0.1 mm(3σ)
回轉(zhuǎn)軸 (T軸) ±0.01°(3σ)
伸展軸 (R軸) ±0.1 mm(3σ)

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