岱美儀器技術服務（上海）有限公司
岱美儀器技術服務（上海）有限公司
| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地上海
紡織服裝機械網(wǎng)采購部電話：0571-88918531
QQ:2568841715
聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式
更新時間：2023-04-20 12:33:38瀏覽次數(shù)：277次
聯(lián)系我時，請告知來自 紡織服裝機械網(wǎng)產(chǎn)品簡介：美國FrontierSemiconductor(FSM)成立于1988年
產(chǎn)品簡介：
美國Frontier Semiconductor(FSM)成立于1988年，總部位于圣何塞，多年來為半導體行業(yè)等高新行業(yè)提供各式精密的測量設備，客戶遍布, 主要產(chǎn)品包括:光學測量設備: 三維輪廓儀、拉曼光譜、 薄膜應力測量設備、 紅外干涉厚度測量設備、電學測量設備:高溫四探針測量設備、非接觸式片電阻及 漏電流測量設備、金屬污染分析、等效氧化層厚度分析 (EOT)
FSM 500TC 薄膜應力及基底翹曲測試設備
FSM500TC-R 應力測量工具
特殊功能和優(yōu)點
1. 多重導向銷設計，手動裝載樣品，有優(yōu)異的重復性與再現(xiàn)性研究。
2. 優(yōu)異的分辨率——測量0.2um弓形高度變化超過 20M 的平鏡（大約 0.8%）
3. 全3D測繪的手動旋轉平臺。
4. 測量局部應力---測量42 點/mm 并大于8400 點/200mm晶圓。這種測量密度獲得更好的信號噪聲比。
5. 封閉的設計，溫度更穩(wěn)定。
6. 特殊的設計使震動偏移降到。
7. 圖形式使用界面更容易使用。
8. 當改變彈性模數(shù)，晶圓或薄膜厚度設備會自動重新計算應力保存數(shù)據(jù)文檔。
9. 可以計算雙軸彈性模量和線膨脹系數(shù)。
10. 可以計算應力的均勻性。
11. 可以輸出數(shù)據(jù)到Excel ，提供給SPC 分析
軟件
軟件提供大量參考方案。參考方案是用于轉換次掃描數(shù)據(jù)組。這種功能可以通過重新計算數(shù)據(jù)組去獲得不同環(huán)境的快速答案，而不用再次測量晶圓，這會節(jié)約許多時間和金錢。
有些情況下初始晶圓是沉積晶圓，而用戶需要參考一張裸片去計算應力。我們的軟件可以讓用戶開啟加熱循環(huán)，然后清除沉積物做掃描測量。這為客戶提供了靈活性，不限于次掃描，第二次掃描序列。
多層薄膜測量，用戶可以執(zhí)行在第二層以外的不同層的多層掃描。它也允許用戶計算由不同層產(chǎn)生的應力或由所有鋪設層在相同的數(shù)據(jù)文件中提供的組合應力。這大大提高了設備的測量能力，特別適用于研究環(huán)境里。
簡單使用
為了測量應力，單片晶圓在掃描線上會被測量兩次，而晶圓的放置正確是獲得精確和重復性好的數(shù)據(jù)的關鍵。因此我們的晶圓卡盤專門設計成非常容易地精準放置晶圓，這不需要用戶太多的操作技巧，進一步降低對測量數(shù)據(jù)的影響。
您感興趣的產(chǎn)品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
紡織服裝機械網(wǎng) 設計制作，未經(jīng)允許翻錄必究 .? ? ?
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
