在當(dāng)今及以后的光伏和半導(dǎo)體制造流程當(dāng)中,靶材無疑是重中之重的原材料,其質(zhì)量和純度對半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的后續(xù)生產(chǎn)質(zhì)量起著關(guān)鍵性作用,而靶材與背板的結(jié)合強度是其中重要的一環(huán),新國標(biāo)GB/T39163-2020 靶材與背板結(jié)合強度測試方法規(guī)定了靶材與背板的結(jié)合強度試驗方法,該試驗分為拉伸試驗和剪切試驗,方法如下




主要技術(shù)指標(biāo)
型號 JD3380
試驗力KN 100
試驗機精度 1級
試驗力測力范圍 0.4%—99%F.S
試驗力分辨率 1/300000全程不分檔,全程分辨率不變
試驗速度 0-300mm/min
拉伸試驗行程mm 650
試驗寬度mm 400
位移分辨率mm 0.01
電源電壓 交流220V 50Hz
主機尺寸mm 780×650×1950mm
主機重量kg 400