Tergeo-Pro等離子清洗機-產(chǎn)品特征：

【1】大樣品室（內(nèi)徑：9″/ 230mm，深度：13.4″/ 340mm）。足夠容納一個8英寸晶圓片。

【2】等離子體放電方法：電容耦合等離子體放電，外部有彎曲的放電電極。

【3】連續(xù)和脈沖等離子體：脈沖比率可以從99%（連續(xù)）改變到小于1%。Tergeo等離子體系統(tǒng)不僅可以按1瓦的間隔調(diào)整射頻功率瓦數(shù)，還可以創(chuàng)造連續(xù)和脈沖等離子體。改變等離子體強度的幅度超過幾個數(shù)量級。

【4】操作方法：自動配方執(zhí)行；自動工作序列執(zhí)行；手動操作。

【5】等離子體傳感器：等離子體強度傳感器實時監(jiān)測等離子體狀態(tài)，向用戶提供不同配方條件下等離子體強度的定量反饋。等離子體傳感器還可以監(jiān)測等離子體灰化過程的進展，并作為一個終點指示器。等離子體強度會實時顯示在LCD觸摸屏上。

【6】過程控制能力：壓力傳感器、溫度傳感器、MFC中的氣體流速計、等離子體強度傳感器、自動阻抗匹配。

【7】腔體設(shè)計：鋁制法蘭和厚壁高純度石英管提供了更強的耐化學性，減少了Pyrex玻璃中的堿性雜質(zhì)（Ca, K, Na）。

【8】樣品架：4mm厚的高純度石英板，尺寸：220mmX280mm。

【9】射頻電極：外部電容耦合的射頻電極包裹著石英管。外部射頻電極的設(shè)計使等離子體體積更大、更均勻，也消除了內(nèi)部金屬射頻電極設(shè)計帶來的離子濺射和加熱問題。

【10】射頻電源：13.56MHz的高頻射頻電源，具有自動阻抗匹配功能。射頻功率有三種選擇。150瓦、300瓦和500瓦，頻率為13.56MHz。射頻功率可以以1瓦的間隔調(diào)整。與低效低成本的KHz電源相比，13.56MHz射頻電源產(chǎn)生的等離子體密度要高得多。

【11】氣體輸入：多達三路MFC控制的氣體輸入（0~100sccm）。一個額外的端口用于通風和吹掃。¼英寸世偉洛克壓縮接頭連接器。

【12】用戶界面：7英寸電阻式觸摸屏，用手指觸摸，不需要手寫筆。

【13】程序配方和工作支持：總共有20個可定制的配方。工作順序中最多有三個清洗步驟。

Tergeo-Pro等離子清洗機-典型應(yīng)用：

【1】光刻膠灰化、除膠、硅片清洗；

【2】焊線前的芯片清洗，倒裝芯片底層填充，PCB去污；

【3】生物醫(yī)學涂層前的表面處理，提高醫(yī)療植入物的親水性；

【4】環(huán)氧樹脂粘接前的光學器件、玻璃、纖維頭和基材清洗；

【5】PDMS、微流控芯片、玻璃片和芯片上的實驗室；

【6】提高金屬與金屬或復(fù)合材料的粘合度；

【7】提高塑料、聚合物和復(fù)合材料的粘接性；

Tergeo等離子清洗機-產(chǎn)品優(yōu)勢：

【1】外部電極的設(shè)計提高等離子體的均勻性；

【2】利用等離子體傳感器技術(shù)，可以進行定量的等離子體強度測量；

【3】直接/浸入模式和遠程/下游等離子體處理模式在一個系統(tǒng)中的應(yīng)用；

【4】連續(xù)和脈沖等離子體可以改變3-4個數(shù)量級的清洗速度；

【5】高頻13.56MHz rf電源，具有自動阻抗匹配功能。在相同的額定射頻功率下，MHz等離子體系統(tǒng)的效率比KHz等離子體系統(tǒng)高很多倍；

【6】頗受好評的過程控制技術(shù)；

【7】質(zhì)量流量控制器(MFC)調(diào)節(jié)氣體輸入，而不是手動轉(zhuǎn)子流量計或粗針閥；

【8】的數(shù)字壓力傳感器用于精確的壓力監(jiān)測；

【9】全自動化操作，支持20種程序配方；

【10】直觀的電阻式觸摸屏用戶界面；

【11】外部射頻電極和石英室可以消除內(nèi)部金屬電極的等離子體系統(tǒng)的金屬污染問題；