MX8R大平臺(tái)晶元半導(dǎo)體檢查顯微鏡
LED芯片檢測(cè)顯微鏡MX8R型
| 儀器概述 |
MX8R各項(xiàng)操作根據(jù)人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)，限度減輕操作者的使用疲勞。其模塊化的部件設(shè)計(jì)，可對(duì)系統(tǒng)功能進(jìn)行自由組合。涵蓋明場(chǎng)、暗場(chǎng)、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多種觀察功能，可根據(jù)實(shí)際應(yīng)用，進(jìn)行功能選擇。
無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察頭
ETTR 型正像鉸鏈三目觀察頭，所成像的方位與物體實(shí)際方位一致，物體移動(dòng)的方向跟像面移動(dòng)的方向相同，便于使用者觀察與操作。
長(zhǎng)工作距金相物鏡
全新設(shè)計(jì)的長(zhǎng)工作距物鏡，采用半復(fù)消色差技術(shù)，其使用的多層寬帶鍍膜技術(shù)，使整個(gè)視場(chǎng)內(nèi)的成像清晰銳利，色彩自然，明亮舒適。長(zhǎng)工作距設(shè)計(jì)，50X 物鏡的有效工作距離 7.9mm，100X 物鏡的有效工作距離也達(dá)到了 2.1mm，更有20X 超長(zhǎng)工作距金相物鏡，大幅拓展了 MX 機(jī)型的應(yīng)用領(lǐng)域。同步設(shè)計(jì)了全套明暗場(chǎng)兩用物鏡，適用于MX8R 機(jī)型，暗場(chǎng)照明亮度比傳統(tǒng)暗場(chǎng)物鏡提高 2 倍以上。
高性能物鏡轉(zhuǎn)換器
MX 機(jī)型的轉(zhuǎn)換器采用精密軸承設(shè)計(jì)，轉(zhuǎn)動(dòng)手感輕巧舒適，重復(fù)定位精度高，物鏡轉(zhuǎn)換后的同心度也得到較好的控制，根據(jù) MX 系列機(jī)型配置及功能的不同，可以選擇不同型號(hào)的轉(zhuǎn)換器。
明暗場(chǎng)反射照明器
帶可變孔徑光闌，視場(chǎng)光闌，中心均可調(diào) ；帶明暗場(chǎng)照明切換裝置，適用于MX8R/MX8RT機(jī)型。
豐富的觀察方式，滿足您的檢測(cè)需求
明場(chǎng)觀察：遠(yuǎn)心柯拉反射照明系統(tǒng)，配以全新設(shè)計(jì)的無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距平場(chǎng)消色差金相物鏡，從低倍到高倍，都能得到清晰、平坦、明亮的高畫質(zhì)顯微圖像。
暗場(chǎng)觀察：將暗場(chǎng)照明拉桿拉到指定位置，即可使用暗場(chǎng)功能，可以觀察物體表面的各種劃痕、雜質(zhì)點(diǎn)及其他細(xì)微缺陷。內(nèi)置衰減片，減少明暗場(chǎng)切換時(shí)光線劇烈變換對(duì)眼睛的刺激。
簡(jiǎn)易偏光觀察：將起偏鏡及檢偏鏡插板插入照明器的指定位置，即可進(jìn)行簡(jiǎn)易偏光觀察。檢偏鏡可分為固定式和 360°旋轉(zhuǎn)式兩種。
DIC 微分干涉觀察：在正交偏光的基礎(chǔ)上 , 插入 DIC 棱鏡，即可進(jìn)行 DIC 微分干涉觀察。使用 DIC 技術(shù) , 可以使樣品表面微小的高低差產(chǎn)生明顯的浮雕效果，極大的提高圖像的對(duì)比度。可匹配帶 DIC 功能的物鏡，使整個(gè)視場(chǎng)的干涉色一致，微分干涉效果非常出色 , 高倍物鏡 DIC 效果也較好。
附件: 攝影 / 攝像附件：在三目觀察筒上，可以配接攝影攝像裝置，將雙目觀察到的圖像輸出至監(jiān)視器或計(jì)算機(jī)，進(jìn)行圖像分析、處理、保存或傳送。使用專用的 C 接口與中繼鏡，可以和數(shù)碼相機(jī)聯(lián)接，快速進(jìn)行拍照，并獲取圖像。
多種干涉濾色片可選: 使用 12V100W 鹵素?zé)魰r(shí)照明時(shí)，可以選擇 LBD 日光型濾色片，能將光線過濾成自然日光的顏色，圖像背景柔和亮白。根據(jù)具體工業(yè)檢測(cè)的需要，可以選擇其他顏色的濾光片來對(duì)光線光譜進(jìn)行調(diào)節(jié)，以獲得圖像效果。
| 詳細(xì)技術(shù)參數(shù) |
| 型號(hào) | MX8R | MX8RT | |
| 光學(xué)系統(tǒng) | 無限遠(yuǎn)色差光學(xué)系統(tǒng) | ||
| 觀察筒 | 30°傾斜，正像，無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒，瞳距調(diào)節(jié) ：50-76mm，分光比 100:0 或 0:100（支持 25/26.5mm 視場(chǎng)） | ||
| 30°傾斜，倒像，無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒，瞳距調(diào)節(jié) ：50-76mm，三檔分光比 0:100 ；20:80 ；100:0（支持 25/26.5mm 視場(chǎng)） | |||
| 5-35°傾角可調(diào)，正像，無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒，瞳距調(diào)節(jié)：50-76mm，單邊視度調(diào)節(jié)：±5 屈光度，兩檔分光比 100:0 或 0:100（支持 22/23/16mm 視場(chǎng)） | |||
| 目鏡 | 高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡 PL10X/22mm，可帶測(cè)微尺，可選視度可調(diào) | ||
| 高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡 PL10X/23mm，視度可調(diào) | |||
| 高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡 PL10X/25mm，視度可調(diào)，可帶刻度十字分劃板 | |||
| 高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡 PL10X/26.5mm，視度可調(diào)，可帶刻度十字分劃板 | |||
| 高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡 PL15X/16mm | |||
| 物鏡 | 長(zhǎng)工作距平場(chǎng)明暗場(chǎng)消色差金相物鏡（5X、10X、20X、50X、100X） | ||
| 無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明暗場(chǎng)半復(fù)消色差金相物鏡（5X、10X、20X、50X、100X） | |||
| 超長(zhǎng)工作距明暗場(chǎng)半復(fù)消色差金相物鏡（20X） | |||
| 轉(zhuǎn)換器 | 內(nèi)定位五孔明暗場(chǎng)轉(zhuǎn)換器，帶 DIC 插槽 | ||
| 調(diào)焦機(jī)構(gòu) | 反射式機(jī)架，前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程 33mm，微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng)，帶光亮度設(shè)定暗扭與復(fù)位按扭。 | 透、反射式機(jī)架，前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程33mm，微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置 . 內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng)，5W 暖色LED透射光照明系統(tǒng)，上下光獨(dú)立可控 | |
| 載物臺(tái) | 6 英寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)，低手位 X、Y 方向同軸調(diào)節(jié) ；平臺(tái)面積 445mm×240mm，反射照明移動(dòng)范圍 ：158mm×158mm ；透射照明移動(dòng)范圍 ：100×100mm ；帶離合器手柄，可用于全行程范圍內(nèi)快速移動(dòng) ；玻璃載物臺(tái)板（透、反射用） | ||
| 照明系統(tǒng) | 明暗場(chǎng)反射照明器 , 帶可變孔徑光闌，視場(chǎng)光闌 , 中心均可調(diào) ；帶明暗場(chǎng)照明切換裝置 ；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽 | ||
| 攝影攝像 | 0.35X/0.5X/0.65X/1X 攝像接筒，C 型接口，可調(diào)焦 | ||
| 其他 | 起偏鏡插板，固定式檢偏鏡插板，360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板 ；反射用干涉濾色片組；高精度測(cè)微尺；DIC 微分干涉組件。 | ||
