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重慶崇諾科技有限公司


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VTC-600-2HD雙靶磁控濺射儀

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地重慶市

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更新時(shí)間：2025-05-24 09:41:31瀏覽次數(shù)：17次

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經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：52條

所在地區(qū)：重慶重慶市

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

主要技術(shù)指標(biāo)電源：220V50Hz功率：極限真空度：工作溫度：RT-500℃

詳細(xì)介紹

主要技術(shù)指標(biāo)

電源：220V 50Hz

功率：<560w（不含真空泵）>

極限真空度：< e-6mbar（配合本公司設(shè)備使用可達(dá)到e-5mbar）="">

工作溫度：RT-500℃，精度±1℃（可根據(jù)實(shí)際需要提升溫度）

靶槍數(shù)量：2個(gè)（可選配其他數(shù)量）

靶槍冷卻方式：水冷

靶材尺寸：?2″，厚度0.1-5mm（因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同）

直流濺射功率：500W（可選）

射頻濺射功率：300W/500W（可選）

載樣臺(tái)：?140mm

載樣臺(tái)轉(zhuǎn)速：1rpm-20rpm內(nèi)可調(diào)

保護(hù)氣體：Ar、N2等惰性氣體

進(jìn)氣氣路：質(zhì)量流量計(jì)控制2路進(jìn)氣，每個(gè)流量為100SCCM

尺寸：500mm×560mm×660mm

整機(jī)尺寸：1300mm×660mm×1200mm

重量：160kg


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