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日立5500M全自動型原子力顯微鏡

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品       牌

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商鋪產(chǎn)品：50條

所在地區(qū)：廣東深圳市

產(chǎn)品簡介

AFM5500M是操作性和測量精度大幅提高，配備4英寸自動馬達(dá)臺的全自動型原子力顯微鏡。設(shè)備在懸臂更換，激光對中，測試參數(shù)設(shè)置等環(huán)節(jié)上提供全自動操作平臺。新開發(fā)的高精度掃描器和低噪音3軸感應(yīng)器使測量精度大幅提高。并且，通過SEM-AFM共享坐標(biāo)樣品臺可輕松實現(xiàn)同一視野的相互觀察分析。特點1. 自動化功能高度集成自動化功能追求高效率檢測降低檢測中的人為操作誤差 4英寸自動馬達(dá)臺自動更換懸臂功能2....

詳細(xì)介紹

概述
產(chǎn)品參數(shù)

AFM5500M是操作性和測量精度大幅提高，配備4英寸自動馬達(dá)臺的全自動型原子力顯微鏡。設(shè)備在懸臂更換，激光對中，測試參數(shù)設(shè)置等環(huán)節(jié)上提供全自動操作平臺。新開發(fā)的高精度掃描器和低噪音3軸感應(yīng)器使測量精度大幅提高。并且，通過SEM-AFM共享坐標(biāo)樣品臺可輕松實現(xiàn)同一視野的相互觀察分析。

特點

1. 自動化功能

  • 高度集成自動化功能追求高效率檢測

  • 降低檢測中的人為操作誤差


4英寸自動馬達(dá)臺

自動更換懸臂功能

2. 可靠性

排除機(jī)械原因造成的誤差

大范圍水平掃描

采用管型掃描器的原子力顯微鏡，針對掃描器圓弧運(yùn)動所產(chǎn)生的曲面，通常通過軟件校正方式獲得平面數(shù)據(jù)。但是，用軟件校正方式不能消除掃描器圓弧運(yùn)動的影響，圖片上經(jīng)常發(fā)生扭曲效果。
AFM5500M搭載了研發(fā)的水平掃描器，可實現(xiàn)不受圓弧運(yùn)動影響的準(zhǔn)確測試。

樣品 ：硅片上的非晶硅薄膜

高精角度測量

普通的原子力顯微鏡所采用的掃描器，在豎直伸縮的時候，會發(fā)生彎曲（crosstalk）。這是圖像在水平方向產(chǎn)生形貌誤差的直接原因。
AFM5500M中搭載的全新掃描器，在豎直方向上不會發(fā)生彎曲（crosstalk） ，可以得到水平方向沒有扭曲影響的正確圖像。

樣品 : 太陽能電池(由于其晶體取向具有對稱結(jié)構(gòu))

  • * 使用AFM5100N（開環(huán)控制）時

3. 融合性

親密融合其他檢測分析方式

通過SEM－AFM的共享坐標(biāo)樣品臺，可實現(xiàn)在同一視野快速的觀察分析樣品的表面形貌，結(jié)構(gòu)，成分，物理特性等。

SEM-AFM在同一視野觀察實例（樣品：石墨烯/SiO2）

上圖是AFM5500M拍攝的形貌像（AFM像）和電位像（KFM像）分別和SEM圖像疊加的應(yīng)用數(shù)據(jù)。

  • 通過分析AFM圖像可以判斷，SEM對比度表征石墨烯層的厚薄。

  • 石墨烯層數(shù)不同導(dǎo)致表面電位（功函數(shù)）的反差。

  • SEM圖像對比度不同，可以通過SPM的高精度3D形貌測量和物理特性分析找到其原因。

與其他顯微鏡以及分析儀器聯(lián)用正在不斷開發(fā)中。



產(chǎn)品參數(shù)
AFM5500M 主機(jī)
馬達(dá)臺自動精密馬達(dá)臺
觀察范圍：100 mm （4英寸）全域
馬達(dá)臺移動范圍：XY ± 50 mm、Z ≥21 mm
最小步距：XY 2 µm、Z 0.04 µm
樣品尺寸直徑：100 mm（4英寸）、厚度：20 mm
樣品重量：2 kg
掃描范圍200 µm x 200 µm x 15 µm （XY：閉環(huán)控制 / Z：感應(yīng)器監(jiān)控）
RMS噪音水平*0.04 nm 以下（高分辨率模式）
復(fù)位精度*XY: ≤15 nm(3σ、計量10 μm的標(biāo)準(zhǔn)間距) / Z: ≤1 nm (3σ、計量100 nm 的標(biāo)準(zhǔn)深度)
XY直角度±0.5°
BOW*2 nm/50 µm 以下
檢測方式激光檢測（低干涉光學(xué)系統(tǒng)）
光學(xué)顯微鏡放大倍率：x1 ～ x7
視野范圍：910 µm x 650 µm ～ 130 µm x 90 µm
顯示倍率：x465 ～ x3,255（27英寸顯示器）
減震臺臺式主動減震臺 500 mm（W） x 600 mm （D） x 84 mm （H）、約28 kg
防音罩750 mm(W) x 877 mm (D) x 1400 mm(H)、 約 237 kg
大小?重量400 mm（W） x 526 mm（D） x 550 mm（H）、約 90 kg

  • * 參數(shù)與設(shè)備配置及放置環(huán)境相關(guān)。

AFM5500M 專用原子力顯微鏡工作站
OSWindows7
RealTune®II自動調(diào)節(jié)懸臂振幅、接觸力、掃描速率以及信號反饋
操作畫面操作導(dǎo)航功能、多窗口顯示功能（測試/分析）、3D圖像疊加功能、掃描范圍/測量履歷顯示功能、數(shù)據(jù)批處理分析功能、探針評估功能
X, Y, Z掃描驅(qū)動電壓0～150 V
時時測試（像素點）4畫面（2,048 x 2,048）
2畫面（4,096 x 4,096）
長方形掃描2:1、4:1、8:1、16:1、32:1、64:1、128:1、256:1、512:1、1,024:1
分析軟件3D顯示功能、粗糙度分析、截面分析、平均截面分析
自動控制功能自動更換懸臂、自動激光對中
大小?重量340 mm（W） x 503 mm（D） x 550 mm（H）、約 34 kg
電源AC100 ～ 240 V　±10% 交流
測試模式標(biāo)配：AFM、DFM、PM（相位）、FFM 選配：SIS形貌、SIS物理特性、LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、Pico-Current、SSRM、PRM、KFM、EFM（AC）、EFM（DC）、MFM

  • * WINDOWS 是、美國 Microsoft Corporation 在美國及美國以外國家注冊商標(biāo)。

  • * RealTune是日立高新科學(xué)公司在日本、美國以及歐洲的注冊商標(biāo)。

選配項：SEM-AFM聯(lián)用系統(tǒng)
可適用的日立SEM型號SU8240、SU8230（H36　mm型）、SU8220（H29 mm型）
樣品臺大小41 mm（W） x 28 mm（D） x 16 mm （H）
樣品尺寸Φ20 mm x 7 mm
對中精度±10 µm （AFM對中精度）



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