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北京環(huán)創(chuàng)科學(xué)儀器有限公司
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產(chǎn)品型號微控?cái)U(kuò)散爐
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地北京市
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更新時(shí)間：2024-11-22 16:54:10瀏覽次數(shù)：80次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 紡織服裝機(jī)械網(wǎng)詳細(xì)說明生產(chǎn)的系列熱工設(shè)備：全功能微控?cái)U(kuò)散系統(tǒng)【產(chǎn)品簡介】該系統(tǒng)式生產(chǎn)半導(dǎo)體器件和大規(guī)模集成電路的重要工藝設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體器件的擴(kuò)散、氧化、退火、燒結(jié)等工藝，也可用于磁性材料的燒結(jié)及機(jī)械行業(yè)的淬火、冶金行業(yè)的燒結(jié)
生產(chǎn)的系列熱工設(shè)備：
全功能微控?cái)U(kuò)散系統(tǒng)
【產(chǎn)品簡介】
該系統(tǒng)式生產(chǎn)半導(dǎo)體器件和大規(guī)模集成電路的重要工藝設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體器件的擴(kuò)散、氧化、退火、燒結(jié)等工藝，也可用于磁性材料的燒結(jié)及機(jī)械行業(yè)的淬火、冶金行業(yè)的燒結(jié)。
控溫采用研制的高精度電腦控制系統(tǒng)，產(chǎn)品質(zhì)量可靠，控制穩(wěn)定，操作簡單，維修方便。
【產(chǎn)品特點(diǎn)】
●工藝溫度段數(shù)：1—14段，可選段運(yùn)行
●單段時(shí)間范圍：1—1080min/斜變段 1—9999min/恒溫段
●三個(gè)溫度測控回路獨(dú)立修正溫度測量值
●三個(gè)溫度測控點(diǎn)獨(dú)立修正溫度測量值
●PID參數(shù)，溫度修正量可在線修改
●溫度設(shè)定單位：℃ 分辨率：0.1℃
●工藝段時(shí)間設(shè)定單位：min，分辨率1min
●各類工藝數(shù)據(jù)斷電后長期保存
●工藝氣體流量，推拉舟運(yùn)動(dòng)狀態(tài)有微機(jī)實(shí)行閉環(huán)控制
●中文顯示各類提示信息
【主要技術(shù)指標(biāo)】
●擴(kuò)散爐管數(shù)：1—4管/臺(tái)
●爐管內(nèi)徑：Φ90—Φ240mm
●恒溫區(qū)長度：≤600mm±1℃（300-#-800℃）
≤600mm±0.5℃（800-#-1250℃）
●單點(diǎn)穩(wěn)定性：±1℃/24h（300-#-800℃）
±0.5℃/24h（800-#-1250℃）
●氣源路數(shù)：≤6路/管
●氣源控制：MFC或浮子流量計(jì)
●推拉舟行程：1500mm
●推拉舟速度范圍及精度：（1—1000）±3mm
●推拉舟位置控制精度：≤3mm
●冷卻方式：水冷+風(fēng)冷
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