UHV式光柵特性由真空兼容材料和粘合劑制成，出氣率低殘余氣體分析(RGA)經(jīng)驗(yàn)證不會(huì)污染真空環(huán)境120°C烘焙溫度非接觸開放式光學(xué)系統(tǒng)提供高速、可靠的操作，摩擦和磨損均為零無氣密孔高精度直線光柵和圓光柵系列真正意義的位置測(cè)量RESOLUTE光柵系列可與單碼道直線柵尺和圓光柵配用，實(shí)現(xiàn)位置測(cè)量

詳細(xì)介紹

UHV式光柵

特性

由真空兼容材料和粘合劑制成，出氣率低
殘余氣體分析 (RGA) 經(jīng)驗(yàn)證不會(huì)污染真空環(huán)境
120 °C烘焙溫度
非接觸開放式光學(xué)系統(tǒng)提供高速、可靠的操作，摩擦和磨損均為零
無氣密孔
高精度直線光柵和圓光柵系列

真正意義的位置測(cè)量

RESOLUTE光柵系列可與單碼道直線柵尺和圓光柵配用，實(shí)現(xiàn)位置測(cè)量。該光柵在通電后無需任何移動(dòng)便可立即獲取位置信息。

高速和高分辨率

RESOLUTE光柵結(jié)合了的光學(xué)系統(tǒng)與創(chuàng)新的位置確定算法，能夠以達(dá)到1 nm的精細(xì)分辨率和高達(dá)100 m/s (36,000 rpm) 的速度實(shí)現(xiàn)位置測(cè)量。

優(yōu)異的測(cè)量性能

RESOLUTE光柵系統(tǒng)可測(cè)量位置，其具有±40 nm的低電子細(xì)分誤差 (SDE) 和小于10 nm RMS的超低噪聲（抖動(dòng)），能夠?qū)崿F(xiàn)平穩(wěn)的速度控制性能和可靠的位置穩(wěn)定性。

柵尺選項(xiàng)

直線柵尺用于提供直線位置信息 — 通常是X軸、Y軸或Z軸。
圓光柵用于提供角度位置信息以及對(duì)旋轉(zhuǎn)元件進(jìn)行運(yùn)動(dòng)控制。
圓弧柵尺可卷繞在圓柱體、軸或圓弧上，用于測(cè)量旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的圓弧。

帶碼道選項(xiàng)的不銹鋼鋼帶

柵尺名稱	精度	柵距	20 °C時(shí)的熱膨脹系數(shù)	供應(yīng)長(zhǎng)度	讀數(shù)頭兼容性
配有可選FASTRACK™的RTLA30	±5 µm/m	30 µm	10.1 ±0.2 µm/m/°C	達(dá)21 m	RESOLUTE、RESOLUTE UHV、RESOLUTE FS

細(xì)窄型不銹鋼鋼帶柵尺

柵尺名稱	精度	柵距	熱膨脹系數(shù)	供應(yīng)長(zhǎng)度	讀數(shù)頭兼容性
RKLA-S	±5 μm/m	30 µm	使用端部蓋條將柵尺端部固定到基體后，柵尺的伸縮將與基體材料保持一致	達(dá)21 m	RESOLUTE

ZeroMet™直線硬柵尺

柵尺名稱	精度	柵距	20 °C時(shí)的熱膨脹系數(shù)	供應(yīng)長(zhǎng)度	讀數(shù)頭兼容性
RELA30	1 m內(nèi)為±1 µm，1 m以上為±1 µm/m	30 µm	0.75 ±0.35 µm/m/°C	達(dá)1.5 m	RESOLUTE、RESOLUTE UHV、RESOLUTE FS

不銹鋼直線硬柵尺

柵尺名稱	精度	柵距	20 °C時(shí)的熱膨脹系數(shù)	供應(yīng)長(zhǎng)度	讀數(shù)頭兼容性
RSLA30	1 m內(nèi)為±1.5 µm，2 m內(nèi)為±2.25 µm，3 m內(nèi)為±3 µm，5 m內(nèi)為±4 µm	30 µm	10.1 ±0.2 µm/m/°C	達(dá)5 m	RESOLUTE、RESOLUTE UHV、RESOLUTE FS

細(xì)窄型不銹鋼圓弧鋼帶

柵尺名稱	精度	柵距	熱膨脹系數(shù)	供應(yīng)長(zhǎng)度	讀數(shù)頭兼容性
RKLA-S	±5 μm/m	30 µm	使用端部蓋條將柵尺端部固定到基體后，柵尺的伸縮將與基體材料保持一致	達(dá)21 m	RESOLUTE

不銹鋼圓光柵

柵尺名稱

刻劃精度（取決于圓光柵直徑）

柵距

20 °C時(shí)的熱膨脹系數(shù)

圓光柵直徑

讀數(shù)頭

兼容性

RESA30

±3.97至±0.38角秒

30 µm

15.5 ±0.5 µm/m/°C

52至550 mm

RESOLUTE、

RESOLUTE UHV、

RESOLUTE ETR、

RESOLUTE FS

超高精度不銹鋼圓光柵

柵尺名稱

安裝精度

（取決于圓柵直徑）

柵距

20 °C時(shí)的熱膨脹系數(shù)

圓光柵直徑

讀數(shù)頭兼容性

REXA30

（≥100 mm直徑）

±1角秒
（75 mm直徑）

±1.5角秒
（≤57 mm直徑）

±2角秒

30 µm

15.5 ±0.5 µm/m/°C

52至417 mm

RESOLUTE、

RESOLUTE UHV、

RESOLUTE ETR、RESOLUTE FS

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