臺階儀

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艾泰克儀器科技（南京）有限公司

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產品簡介

臺階儀集合了共焦光學形貌儀，WLI白光干涉形貌儀，原子力顯微鏡，接觸和非接觸式雙模式表面形貌檢測

詳細介紹

臺階儀

集合了共焦光學形貌儀，WLI白光干涉形貌儀，原子力顯微鏡，接觸和非接觸式雙模式表面形貌檢測。

技術參數(shù)

項目簡述	參數(shù)說明
共焦	可快速垂直掃描的旋轉共焦技術。使用高數(shù)值孔徑 (0.95) 以及高倍數(shù)的 (150倍) 全視野3D鏡頭，用以表征坡度分析 (超大斜率<干涉測量>: 72°vs 44°) 。具有光學形貌上超高的橫向分辨率，附有5百萬自動分辨率的CCD相機，空間下樣可調至0.05um，是表面特征以及形貌的測量的理想配置。在測量表面粗糙度/表面反射率上無限制應用于透明層/薄膜。兼容亮視野&暗視野; 光學DIC。長距離遠攝鏡頭是用以測量高縱橫比以及坡度特性的理想之選。高穩(wěn)定性。
干涉儀（WLI）	Z向高分辨率兼具相移（PSI）以及垂直掃描（VSI）模式 Z向分辨率可獨立放大四色CCD 相機，用戶可自選的LED光源 (白光、綠光、藍光和紅光) 高達五百萬像素的可自動分辨的CCD 相機快速處理器自動對焦
原子力顯微鏡	探針掃描可用于大型模板 X、Y、Z三向可達原子級分辨率大壓電探針掃描XY: 達到 110x110um
變焦	粗糙表面分析快速分析一臺設備上集成非接觸式白光干涉形貌儀高精度原子力顯微鏡