質(zhì)量流量控制器D07-11

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商品說(shuō)明D07-11質(zhì)量流量控制器可以應(yīng)用到對(duì)各種氣體進(jìn)行測(cè)量和控制，除測(cè)量外還可以精密控制氣體的質(zhì)量流量，質(zhì)量流量計(jì)（MFM）可以精密測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，*高耐壓10MPa

詳細(xì)介紹

商品說(shuō)明

D07-11質(zhì)量流量控制器可以應(yīng)用到對(duì)各種氣體進(jìn)行測(cè)量和控制，除測(cè)量外還可以精密控制氣體的質(zhì)量流量，質(zhì)量流量計(jì)（MFM）可以精密測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，*高耐壓10MPa。

特點(diǎn)

• 高耐壓性
• 橡膠密封、模擬電路的MFC
• 采用DB15型電插頭，標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接頭
• CE認(rèn)證，兼容

D07-11質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)

項(xiàng)目	D07-11C	D07-11CM	D07-11E
流量規(guī)格	( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM	( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM	( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM
準(zhǔn)確度	±1 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)	±1 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)	±1 .5% F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)
線性	±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)	±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)	±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)
重復(fù)精度	±0.2 %F.S	±0.2 %F.S	±0.2 %F.S
響應(yīng)時(shí)間	電特性: 10 sec 氣特性: ≤ 4 sec	≤10 sec	電特性: 10 sec 氣特性: ≤ 4 sec
大工作壓力	10 MPa	-	1 MPa
氣壓降	-	＜ 0.02 MPa	-
工作壓差范圍	≤10SLM (0.2 ~ 0.8) MPa ＞10SLM (0.2 ~ 0.6) MPa	-	≤10SLM (0.1 ~ 0.5) MPa ＞10SLM (0.1 ~ 0.3) MPa
耐壓	10 MPa	10 MPa	3 MPa
工作環(huán)境溫度	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃
輸入輸出信號(hào)	0 V ~ +5.00 V (輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)	0 V ~ +5.00 V (輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)	0 V ~ +5.00 V (輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)
電源	+15 V 50 mA -15V 200 mA	+15 V 50 mA -15 V 50 mA	+15 V 50 mA -15V 200 mA
重量	1.2kg	1 kg	1.2kg

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