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全自動(dòng)SIC復(fù)合覆膜立式爐

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地合肥市

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更新時(shí)間：2024-12-16 10:22:01瀏覽次數(shù)：37次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：28條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：張經(jīng)理

產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品用途： 本產(chǎn)品主要面向SIC功率器件制造領(lǐng)域，在氮?dú)夥諊袑IC/PI復(fù)合薄膜進(jìn)行600-1050℃的碳化處理，在碳化過程中，SIC納米粒子與PI作用形成化學(xué)鍵合，使其耐熱性得到提高。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特點(diǎn)：

   1.一體式人機(jī)操作系統(tǒng)，連續(xù)式自動(dòng)化生產(chǎn)，工作效率高，節(jié)約人工成本、電能及工藝時(shí)間；

   2.FEC加熱，升溫迅速且均勻度好；

   3.優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì)，表面經(jīng)物理及化學(xué)拋光處理，確保潔凈度；

   4.自帶自清潔功能——高溫清潔。


技術(shù)參數(shù)：

型號

TASS15100D112-N0

TASS20100D112-N0

處理產(chǎn)品

6/8inch 晶圓

處理量

100PCS/管

加熱器

圓形FEC加熱板

上料口

2個(gè) 

機(jī)械手

1

溫度范圍

長期使用溫度: 950℃，溫度：1200℃

升溫速率

＜8℃/min

 降溫速率 

＜7℃/min

加熱功率

30kW(單爐)

 加熱溫區(qū) 

3個(gè)

爐溫均勻性

±2℃（950℃恒溫）

 控溫?zé)崤?nbsp;

K分度

溫度控制方式

SSR

 程序控制 

P.I.D控制

爐膛材料

石英

 保溫材料 

陶瓷纖維

氣氛控制

多路流量計(jì)調(diào)節(jié)進(jìn)氣

流量計(jì)量程：

1）0-150L/min  氮?dú)?/span>

2）0-40L/min  氧氣

 氣氛 

 N2/O2 

排氣系統(tǒng)

在頂部設(shè)置排氣煙囪，用于廢氣排放,回收




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