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INFICON BPG400 大氣壓至超高真空真空計(jì)

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更新時(shí)間：2023-08-27 12:55:14瀏覽次數(shù)：215次

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所在地區(qū)：

產(chǎn)品簡介

益處測量范圍非常廣

詳細(xì)介紹

益處

  • 測量范圍非常廣，從 5×10-10 毫巴至大氣壓（3.8×10-10 托至大氣壓）
  • 10-8 … 10-2 毫巴過程壓力范圍內(nèi) 5% 的優(yōu)良可重復(fù)性
  • 皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)貝阿德-阿爾珀特系統(tǒng)在高壓操作下燈絲過早燒毀和過度污染
  • 使用壽命長的氧化釔銥絲
  • 備有可選的圖形顯示屏和現(xiàn)場總線接口
  • 高真空皮拉尼自動(dòng)調(diào)節(jié)，減少操作員干預(yù)
  • RoHS 合規(guī)
  • 低真空和超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制

典型應(yīng)用

  • 對半導(dǎo)體過程和傳輸腔室的壓力測量
  • 工業(yè)鍍膜
  • 低真空和超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制

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