廈門博耐爾儀器有限公司
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牛津儀器無窗超級能譜ExtremeX-Max Extreme全新硅漂移探測器是能譜探測器領域的又一突破，為超高分辨率FEG-SEM的應用及超越常規(guī)的微米和納米尺度分析提供了全新的解決方案。X-Max Extreme是100mm2無窗版本的X-Max，可顯著地提高靈敏度和空間分辨率。 它采用了優(yōu)化的徑向幾何設計，可實現在超高分辨場發(fā)射掃描電鏡的低電壓及小工作距離條件下同時采集圖像和能譜。X-Max Extreme可實現能譜的分辨率達到相應掃描電鏡的分辨率。SEM-EDS超高空間分辨率FEG-SEM中優(yōu)于10nm的元素表征材料表面表征靈敏度高SEM中表征材料表面超低電壓下進行材料鑒定低至1千伏材料表征快速準確的納米尺度表征快速采集并實時數據處理大塊樣品**的輕元素靈敏度鋰、氮和氧等輕元素的檢測提高至新水平
技術背景
X-Max Extreme是超高分辨率FEG-SEM應用的一個突破性的解決方案。這種的探測器次實現EDS在超低電壓(例如1-3kV)及很短的工作距離條件下采集信號來進行元素分析，而用戶通常在該條件下進行納米材料或材料表面的形貌觀察。
**的超高分辨率FEG-SEM為研究更小尺度納米結構、界面和表面提供了全新的解決方案。然而,在短工作距離、超低電壓和束流條件下，其雖然能夠在棱鏡內探測器獲得電子信號，卻沒有響應的能譜以進行元素表征。**X-Max Extreme改變了這種狀況，它專為在這類參數條件下工作而設計:
的幾何設計
為在更短的工作距離下工作而設計
為傳統側插能譜探頭設計的立體角——通常比X-MaxN150 立體角大5倍而傳感器到樣品距離僅為正常距離的一半
無窗下工作
結合立體角，相比其他大面積探頭，對低能X射線探測靈敏性可提高10-30倍
新的探頭電子器件極大地提高了極低能量X射線，同時擴展了更高計數下的低能量分析性能
AZtecEnergy與**低電壓Tru-Q分析引擎整合為一體，實現低電壓下數據處理及分析
為低電壓下的譜峰剝離而改進的TruMap
為了實現這種的幾何設計，X-MaxExtreme非圓形100平方毫米傳感器和無窗的設計已經成功地用于X-MaxN 100TLE，以優(yōu)化TEM中的靈敏度。除了探測器特性之外，小尺寸電子陷阱設計使得探測器可以在7kV電壓下工作。
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