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激光干涉儀SJ6000

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品型號：SJ6000產(chǎn)品名稱：SJ6000激光干涉儀測量方式：單頻穩(wěn)頻精度：0

詳細(xì)介紹

  • 產(chǎn)品型號：SJ6000
  • 產(chǎn)品名稱：SJ6000激光干涉儀
  • 測量方式：單頻
  • 穩(wěn)頻精度：±0.05ppm
  • 測量精度：±0.5ppm（0-40）℃
  • 線性測量距離：（0-80）m
  • 測量分辨率：1nm
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  •  

1. 產(chǎn)品簡介

 

  • 　　激光干涉儀以光波為載體，其光波波長可以直接對米進(jìn)行定義，且可以溯源至國家標(biāo)準(zhǔn)，是迄今的高精度、 高靈敏度的測量儀器，在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

    　　SJ6000激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，其壽命可達(dá)50000小時(shí)； 采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號采集、 調(diào)理及細(xì)分技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動(dòng)補(bǔ)償； 采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù)，支持中文、英文和俄文語言，友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒獭⒑啙嵒挠涗浌芾怼?/span>

     

     

    　　SJ6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

2.產(chǎn)品配置

 

  • 　　SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。

     

    　　其中，線性鏡組為標(biāo)配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成?？蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。

二.工作原理

 

  • 　　激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測量光束）則通過分光鏡射入第二個(gè)反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會(huì)有一個(gè)探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉（見圖）。若光程差沒有變化時(shí)，探測器會(huì)在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。

    　　若光程差有變化時(shí)，探測器會(huì)在每一次光程變化時(shí)，在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號，這些變化會(huì)被計(jì)算并用來測量兩個(gè)光程之間的差異變化。

     

 

三. 產(chǎn)品功能特點(diǎn)

 

  • ◆精度高

    　　SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

    ◆功能廣

      ● 可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；

      ● 可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

      ● 可實(shí)現(xiàn)龍門機(jī)床雙軸同步測量；

      ● 可實(shí)現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)；

      ● 可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

      ● 具有動(dòng)態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

      ● 支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

    ◆軟件強(qiáng)

      ●  友好的人機(jī)界面；

      ●  豐富的應(yīng)用功能模塊；

      ●  向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/span>

      ●  簡潔化的記錄管理；

      ●  支持中文、英文和俄文界面；

             ● 支持企業(yè)專屬模板定制。

     

    榮譽(yù)證書

     

     

     

    客戶應(yīng)用案例

     

    組裝機(jī)床調(diào)校

    北京精雕機(jī)床直線度測量

    精密機(jī)床測量

    CNC數(shù)控機(jī)床校準(zhǔn)

    機(jī)床回轉(zhuǎn)軸測量

    大型龍門加工中心測量

    大族激光切割機(jī)測量

    自動(dòng)化設(shè)備測量

    泰國國家超長導(dǎo)軌測量

    球桿儀檢測

    三坐標(biāo)測量機(jī)檢測

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