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鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
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產(chǎn)品型號CY-LP
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更新時間：2023-03-06 15:01:49瀏覽次數(shù)：373次
聯(lián)系我時，請告知來自 紡織服裝機(jī)械網(wǎng)簡單介紹： 8.5"實驗室等離子清洗機(jī)是一種等離子體清洗劑或蝕刻裝置，直徑8.5英寸x 14英寸長石英腔和0 - 80W可變射頻功率。8.5"實驗室等離子清洗機(jī)采用空氣、氧氣或氬氣等離子體對基體或晶圓片表面的納米級有機(jī)污染物進(jìn)行清洗和去除。在高射頻功率下，有機(jī)去除率zui高可達(dá)20nm /min左右。8.5"實驗室等離子清洗機(jī)是在外延薄膜沉積前對單晶基體進(jìn)行預(yù)清潔以獲得更好的質(zhì)量的一種的工具。
8.5"實驗室等離子清洗機(jī)配有一個直連式雙旋真空泵，可對腔體進(jìn)行抽真空，同時通入氬氣等保護(hù)氣體，適用于對易氧化的物品的清洗。本機(jī)主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時也可改變物體表面的性質(zhì)（如親水和疏水性等），對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。在單晶材料外延薄膜生長以前對其進(jìn)行預(yù)處理，將對生長具有顯著的作用。
8.5"實驗室等離子清洗機(jī)技術(shù)參數(shù)：
| 輸入功率 | ? AC 220V , 50/60 Hz, ? 射頻功率：80 W Max.（標(biāo)準(zhǔn)） ? 真空泵：正常550W,啟動750W ? 總功率：830W max. ? 工作電流≤3A |
| 射頻功率 | ? 射頻功率可在0-80W范圍內(nèi)調(diào)節(jié) ? 射頻：13,56 MH ? 可選：可根據(jù)要求提供300 W射頻電源，需額外收費(fèi) |
| 等離子室 | ? 8.5" O.D×8.2" I.D×14" L高純度石英室 ? 體積: 12 L ? 鉸鏈?zhǔn)角胺ㄌm由鋁制成 ? 2.3"直徑（60mm）石英窗口，便于觀察 ? 屏蔽RF輻射，零RF泄漏 |
| 控制面板 | ? 6"彩色觸摸屏，可自動控制所有參數(shù)，用于等離子清潔，如真空度，氣體流速，RF功率水平和清潔時間。 ? 內(nèi)置一個通道質(zhì)量流量計（0-500ml /分鐘），控制氣體流量+/- 0.5 ml / m |
| 真空泵和閥門 | ? 包含排氣過濾器，KF25D適配器和夾具的240 L / m重型旋片式真空泵可立即使用 ? *終總壓力為50 mTorr |
| 惰性氣體 | ? 可以選擇許多惰性氣體進(jìn)行等離子體清潔，如N2，Ar，空氣和混合氣體，取決于將要處理的材料類型。（不包括在包裝內(nèi)） ? 等離子清潔器不得使用 |
| 總體尺寸 | 620 L×600 W×600 H, mm |
| 保證 | 一年有限保修，終身支持(耐熱玻璃室無保修) |
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