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奧林巴斯晶圓搬送機 AL120

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更新時間：2022-12-07 15:09:32瀏覽次數(shù)：194次

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產品簡介

產品說明：對應多種尺寸組合奧林巴斯晶圓搬送機 AL120 我們推出了200mm zhuan用型、200 mm/150mm兼用型和150 mm型（對應小于150mm的晶圓）的3種工具顯微鏡型號。除此以外，您還可以根據檢...

詳細介紹

產品說明：對應多種尺寸組合奧林巴斯晶圓搬送機 AL120 我們推出了200mm zhuan用型、200 mm/150mm兼用型和150 mm型（對應小于150 mm的晶圓）的3種工具顯微鏡型號。除此以外，您還可以根據檢查模式，選用微觀檢查zhuan用型號"L型"或微觀•宏觀檢查兼用型號"LMB型"。晶圓尺寸•厚度對應表薄片檢查對應薄片制

對應多種尺寸組合

奧林巴斯晶圓搬送機 AL120

我們推出了200mm zhuan用型、200 mm/150mm兼用型和150 mm型（對應小于150 mm的晶圓）的3種工具顯微鏡型號。除此以外，您還可以根據檢查模式，選用微觀檢查zhuan用型號"L型"或微觀•宏觀檢查兼用型號"LMB型"。

晶圓尺寸•厚度對應表

薄片檢查
對應薄片制造廠家的需求，AL120-LMB-90工具顯微鏡搭載的新型搬送手臂的設計可以搬運整盒25枚90 μm的j薄晶圓。

高度實用性
進一步優(yōu)化的宏觀檢查

背面宏觀360゜旋轉
宏觀檢查手臂可以360゜旋轉，更為容易發(fā)現(xiàn)傷痕和微塵。
利用360゜旋轉功能，完*可以目視檢查整個晶圓（包括邊緣）。此外，在表面宏觀檢查中，使用操縱桿可隨意將晶圓*大傾斜30゜進行觀察。

操作便捷
為了滿足各種常規(guī)檢查的要求，AL120工具顯微鏡可以登記多達10個檢查程序。使用這一功能可以記錄特定的卡盒、晶圓和傳輸速度?？焖俨藛芜x擇按鈕則可以讓操作員立刻切換不同程序。

晶圓搬送機的菜單設置和設置參數(shù)都會在新型的LCD顯示器上顯示。使用RECALL按鈕可以顯示檢查時登記的有缺陷的對應SLOT，便于操作者再次確認。

AL120工具顯微鏡使用非接觸光學定位、查找和對齊缺口／平面，可以減少晶圓和設備之間的接觸，提高晶圓的清潔度。

高度可靠性
優(yōu)先考慮晶圓和操作者的安q
為了能夠安q的安裝晶圓，采用了在裝置正面放置片盒的設計。
在安q性和人機工學上通過了SEMI S2/S8檢測，同時，在環(huán)境保護方面遵守了RoHS指令。

堅固、耐y的顯微鏡底座
AL120工具顯微鏡搭載奧林巴斯MX專業(yè)晶圓檢查顯微鏡系列，通過各種觀測方法，包括：明視場、暗視場、微分干涉（DIC）、近IR（近紅外線）和DUV（深紫外線），實現(xiàn)了z越的圖像分辨率和清晰度。電動物鏡轉換器和孔徑光闌相互鎖定，可以優(yōu)化各物鏡的照明和對比度。如果特別訂制，AL120工具顯微鏡還可以應用到其他型號的顯微鏡上。

人機工程學設計的載物臺
手動快速釋放真空載物臺可以提高操作員的舒適度和工作效率，標準功能為XY軸控制和晶圓旋轉功能。
可通過操縱桿或預編程的程序控制電動載物臺，進一步將檢查過程自動化。只需一鍵便可驅動載物臺返回或離開load/unload位置及原點位置。

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