矩形超高真空插板閥

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更新時間：2022-11-18 12:12:49瀏覽次數(shù)：281次

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四川九天真空科技股份有限公司

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產(chǎn)品簡介

一、簡介　　此系列閥門為氣動驅(qū)動方式，在結構上設計合理，外形上美觀，并具有動作平穩(wěn)、沖擊振動小、使用可靠、密封性能好和壽命長等優(yōu)點，是半導體行業(yè)中真空設備自動化閥門之一

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一、簡介

　　此系列閥門為氣動驅(qū)動方式，在結構上設計合理，外形上美觀，并具有動作平穩(wěn)、沖擊振動小、使用可靠、密封性能好和壽命長等優(yōu)點，是半導體行業(yè)中真空設備自動化閥門之一。閥門是以壓縮空氣推動氣缸為動力，通過傳動桿推(拉)動連桿機構，帶著驅(qū)動體沿軸向運動，驅(qū)動體通過擺桿與閥板連接并帶動閥板開啟及關閉動作。閥門的介質(zhì)為空氣及非腐蝕性氣體。

二、特點

? 采用多擺桿均勻分布支撐結構，閥板受力均勻，閥門開啟沖擊振動小，噪聲低;

? 四滾輪支撐運動機構，動作平穩(wěn)，運動噪聲小;

? 動密封采用波紋管密封，其它密封件為氟橡膠，密封可靠;

? 閥體采用不銹鋼內(nèi)部焊接，漏率小;

? 在更小的體積上，一次性通過更多的工件，合理使用了空間。

三、主要性能指標

? 適用范圍：1×10^-6Pa～1.2×10⁵Pa

? 打開時插板上的壓差：≤2×10³Pa任意方向

? 閥體和閥座漏率： <1.3×10^-7Pa·L·s^-1

? 保養(yǎng)循環(huán)次數(shù)：10，0000次

? 閥體烘烤溫度：≤150℃