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BROOKS 9861 系列高溫質(zhì)量流量控制器

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品       牌

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

9861系列高溫質(zhì)量流量控制器和儀表提升高溫流量控制的準(zhǔn)確性和效率布魯克斯儀器9861系列高溫?zé)豳|(zhì)量流量控制器和儀表專(zhuān)為在高溫相關(guān)苛刻條件下輸送可冷凝前體和摻雜劑設(shè)計(jì)，該產(chǎn)品采用高純度、無(wú)泄漏一體化金屬流路，可確保兼容過(guò)程氣體和蒸汽

詳細(xì)介紹

9861 系列高溫質(zhì)量流量控制器和儀表

提升高溫流量控制的準(zhǔn)確性和效率

布魯克斯儀器 9861 系列高溫?zé)豳|(zhì)量流量控制器和儀表專(zhuān)為在高溫相關(guān)苛刻條件下輸送可冷凝前體和摻雜劑設(shè)計(jì)，該產(chǎn)品采用高純度、無(wú)泄漏一體化金屬流路，可確保兼容過(guò)程氣體和蒸汽。 IsoSensor™ 是一種穩(wěn)定性的流量傳感器，可兼容加熱氣體管線(xiàn)和烘干系統(tǒng)中苛刻的環(huán)境溫度。IsoSensor™ 傳感器的低漂移性能可使高溫應(yīng)用無(wú)需頻繁重新調(diào)零和重新校準(zhǔn)。

9861

特點(diǎn)

  • 穩(wěn)定的 IsoSensor™ 流量測(cè)量傳感器
  • 高純度流路
  • 遠(yuǎn)程控制電子元件（標(biāo)配兩個(gè)模擬電子連接器）
  • 數(shù)字測(cè)量和控制架構(gòu)

優(yōu)勢(shì)

  • 傳感器穩(wěn)定性高，可保障運(yùn)行時(shí)間、減少維護(hù)工作并降低總體擁有成本
  • 全金屬接液流路可確保氣體/蒸汽完整性和純度
  • 包括 20 引腳卡緣連接器和 9/15 引腳“D"連接器，可實(shí)現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)化并減少庫(kù)存
  • 強(qiáng)化準(zhǔn)確性和過(guò)程控制

應(yīng)用

  • 光纖制造 – MCVD
  • 硅材料半導(dǎo)體器件加工工藝


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