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Aerotech QNP系列壓電納米定位平臺(tái)

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Aerotech QNP系列壓電納米定位平臺(tái)

關(guān)鍵詞：納米定位平臺(tái)/壓電平臺(tái)/壓電納米定位臺(tái)

詳細(xì)介紹

Aerotech QNP系列壓電納米定位平臺(tái)詳細(xì)介紹

Aerotech QNP系列壓電納米定位平臺(tái)

關(guān)鍵詞：納米定位平臺(tái)/壓電平臺(tái)/壓電納米定位臺(tái)

QNP系列壓電納米定位平臺(tái)以緊湊，高剛度的封裝提供納米級(jí)的性能。多種行程（100μm至600μm）和反饋選項(xiàng)使其成為從顯微鏡到光學(xué)對(duì)準(zhǔn)的應(yīng)用的理想解決方案。

緊湊包裝中的高質(zhì)量

QNP壓電平臺(tái)受精密撓曲的指導(dǎo)，該撓曲使用有限元分析進(jìn)行了優(yōu)化，以確保高剛度和較長(zhǎng)的設(shè)備壽命。終的設(shè)計(jì)提供了出色的剛度和諧振頻率，從而實(shí)現(xiàn)了高處理量和快速的閉環(huán)響應(yīng)。此外，集成的XY封裝程度地減少了平臺(tái)堆疊高度和移動(dòng)質(zhì)量，從而實(shí)現(xiàn)了出色的靜態(tài)和動(dòng)態(tài)多軸性能。

高分辨率和定位精度

所有QNP壓電級(jí)均采用*的電容傳感器設(shè)計(jì)，提供閉環(huán)反饋選項(xiàng)，可實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率和高線性度。電容式傳感器直接測(cè)量定位滑架的輸出，從而實(shí)現(xiàn)出色的精度和可重復(fù)性。

超精密控制

與Aerotech的Q系列控制器和驅(qū)動(dòng)器配合使用時(shí)，QNP壓電納米定位臺(tái)具有亞納米級(jí)的定位分辨率和就位穩(wěn)定性（抖動(dòng)）以及高定位帶寬。

QNP壓電級(jí)可提供電容傳感器反饋或無反饋（開環(huán)）。對(duì)于需要緊湊的尺寸，高動(dòng)態(tài)特性和亞納米級(jí)定位分辨率，但又不需要定位精度和可重復(fù)性的應(yīng)用，開環(huán)提供了一種經(jīng)濟(jì)高效的選擇。在通過外部反饋源（干涉儀，視覺系統(tǒng)，光電探測(cè)器等）控制壓電位置的情況下，也可以使用開環(huán)設(shè)計(jì)。

可選的安裝板可直接安裝到英制或公制面包板光學(xué)平臺(tái)上。QNP系列還包括-L和-Z級(jí)，其中公共行程與轉(zhuǎn)接板一起安裝。

所有QNP壓電平臺(tái)均可根據(jù)要求提供真空制備版本。

設(shè)計(jì)特點(diǎn)

· 行程范圍從100μm到600μm

· 設(shè)備壽命長(zhǎng)

· 高精度，無摩擦的撓性導(dǎo)向系統(tǒng)

· 借助直接計(jì)量電容傳感器，可實(shí)現(xiàn)高達(dá)0.007％的出色定位分辨率和線性度

· 與其他QNP系列壓電納米定位器的安裝兼容性

· 開環(huán)和真空版本

Model		QNP40XY-100	QNP50XY-250	QNP60XY-500
Closed-Loop Travel		100 ?m	250 ?m	500 ?m
Open-Loop Travel, -30 to +150 V⁽¹⁾		120 ?m	300 ?m	600 ?m
Resolution⁽²⁾	Closed-Loop	0.30 nm	0.50 nm	0.90 nm
Resolution⁽²⁾	Open-Loop	0.15 nm	0.20 nm	0.40 nm
Linearity^(3,4)		0.01%	0.01%	0.007%
Bidirectional Repeatability⁽⁵⁾		2 nm	2 nm	5 nm
Pitch/Yaw		6 ?rad (1.2 arc sec)	6 ?rad (1.2 arc sec)	12 ?rad (2.5 arc sec)
Stiffness (Direction of Motion)⁽⁶⁾		1.05 N/?m	0.36 N/?m	0.24 N/?m
Unloaded Resonant Frequency⁽⁶⁾	Top Axis	885 Hz	445 Hz	315 Hz
Unloaded Resonant Frequency⁽⁶⁾	Bottom Axis	635 Hz	295 Hz	200 Hz
Resonant Frequency (50 gram load)⁽⁶⁾	Top Axis	495 Hz	305 Hz	240 Hz
Resonant Frequency (50 gram load)⁽⁶⁾	Bottom Axis	335 Hz	240 Hz	170 Hz
Maximum Acceleration (Unloaded)⁽⁷⁾	Top Axis	600 m/s²	370 m/s²	210 m/s²
Maximum Acceleration (Unloaded)⁽⁷⁾	Bottom Axis	320 m/s²	160 m/s²	90 m/s²
Moving Mass (Unloaded)	Top Axis	42 g	56 g	98 g
Moving Mass (Unloaded)	Bottom Axis	79 g	126 g	217 g
Max Payload⁽⁸⁾		1 kg	1 kg	1 kg
Stage Mass		0.11 kg	0.17 kg	0.27 kg
Material		Anodized Aluminum⁽⁹⁾
MTBF (Mean Time Between Failure)		30,000 Hours

QNP-Z壓電納米定位平臺(tái)可提供電容傳感器反饋或無反饋（開環(huán)）。對(duì)于需要緊湊的尺寸，高動(dòng)態(tài)特性和亞納米級(jí)定位分辨率，但又不需要定位精度和可重復(fù)性的應(yīng)用，開環(huán)提供了一種經(jīng)濟(jì)高效的選擇。在通過外部反饋源（干涉儀，視覺系統(tǒng)，光電探測(cè)器等）控制壓電位置的情況下，也可以使用開環(huán)設(shè)計(jì)。

可選的安裝板可直接安裝到英制或公制面包板光學(xué)平臺(tái)上。QNP系列還包括-L和-XY位移臺(tái)，其中公共行程與轉(zhuǎn)接板一起安裝。

機(jī)械規(guī)格^（1）

模型		QNP40Z-100	QNP50Z-250	QNP60Z-500
閉環(huán)旅行		100微米	250微米	500微米
開環(huán)行程，-30至+150 V ^（2）		140微米	300微米	600微米
解析度^（3）	閉環(huán)	0.30海里	0.50海里	0.90海里
解析度^（3）	開環(huán)	0.15納米	0.20海里	0.40納米
^{線性度（4,5）}		0.01%	0.01%	0.007%
雙向重復(fù)能力^（6）		1納米	1納米	3納米
俯仰/滾動(dòng)/偏航		15微弧度（3弧秒）	25微弧度（5弧秒）	39微弧度（8弧秒）
剛度（在運(yùn)動(dòng)方向上）^（7）		0.96 N /微米	0.40 N /微米	0.42 N /微米
空載諧振頻率^（7）		1050赫茲	510赫茲	310赫茲
共振頻率（50克負(fù)載）^（7）		620赫茲	340赫茲	260赫茲
加速度（空載）^（8）		530 m / s ²	260 m / s ²	220 m / s ²
移動(dòng)質(zhì)量		53克	83克	234克
有效載荷^（7）		1公斤	0.8公斤	1公斤
舞臺(tái)質(zhì)量		0.08公斤	0.13公斤	0.31公斤
材料		陽極氧化鋁^（10）
MTBF（平均*時(shí)間）		30,000小時(shí)

高控科技 張巨鵬 1-8-5-0-6-2-3-6-5-8-8、1-8-5-1-8-5-5-6-5-8-8

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