兆豐MMA 全自動工具測量顯微鏡
采用NIKON原裝傾斜式三目鏡筒,五段變倍鼻輪
MMA臺式系列測量顯微鏡采用NIKON原裝傾斜式三目鏡筒,五段變倍鼻輪(可選自動變倍鼻輪)。提供高清晰度測量畫面,配以0.0001mm分辨率金屬光柵實(shí)現(xiàn)更高的測量精度,同時(shí)Z軸采用新結(jié)構(gòu)及新進(jìn)的圖像處理方式實(shí)現(xiàn)Z軸精準(zhǔn)對焦測高,10X及以上物鏡對焦重復(fù)性≤0.002mm,100X物鏡對焦重復(fù)性≤0.001mm。
適用于半導(dǎo)體封裝、焊接貼片、環(huán)路高度、FPD面板(LCM)、晶片級CSP等領(lǐng)域。
升級擴(kuò)展選項(xiàng):
A、DIC微分干涉模塊;
B、熒光模塊。
機(jī)型參數(shù):
儀器型號/儀器參數(shù) | MMA300CNC | MMA400CNC | MMA500CNC | |
儀器重量/kg | 230 | 400 | 540 | |
外型尺寸L*W*H | 770*660*970 | 980*790*990 | 1280*855*1050 | |
測量范圍(mm) | X | 300 | 400 | 500 |
Y | 200 | 300 | 400 | |
Z | 150 | 150 | 150 | |
工作臺(mm) | 大理石臺面 | 487×367 | 606×476 | 786×610 |
玻璃臺面 | 345×245 | 445×345 | 545*445 | |
承重 | 20kg | 30kg | 30kg | |
影像及測量系統(tǒng) | CCD | 德國映美精1/3"彩色CCD,130萬像素 | ||
光學(xué)頭 | 日本尼康原裝傾斜三目鏡筒+五段變倍鼻輪(可選自動變倍鼻輪) | |||
目鏡 | CFI 10X | |||
物鏡 | 5X、10X、20X、50X、100X(倍率可選) | |||
光柵尺分辨率 | 0.0001mm | |||
測量精度(um) | X、Y線性精度:1.6+L/200 X-Y矢量精度:2+L/200 Z軸對焦精度≤0.002mm(10X及以上物鏡) | |||
照明光源 | LED同軸落射光源+LED平行透射光源 | |||
工作電源 | 220v±10%(AC) 50Hz (注:需有電阻≤4Ω接地線) | |||
工作環(huán)境 | 溫度:18~24℃、相對濕度:30~75%、遠(yuǎn)離振源 |
兆豐GOOD VISION測量軟件
GOOD VISION支持各類型的傳感器系統(tǒng)的應(yīng)用 |
包 括:同軸導(dǎo)航、接觸式測頭、點(diǎn)激光、線激光、升降燈等。 |
復(fù)合式測量 |
GOOD VISION測量軟件創(chuàng)新性的將影像、激光、探針的結(jié)合到同一款軟件中,實(shí)現(xiàn)共程序、共坐標(biāo)及各種測量傳感器無縫切換。 |
光源補(bǔ)償 |
GOOD VISION測量軟件光源補(bǔ)充功能可將不同設(shè)備上的表面光及輪廓光的亮度在各個倍率下補(bǔ)正為均勻一致,使同一測量程序在不同機(jī)臺上直接調(diào)用,減少編程時(shí)間。 |
輪廓度 |
GOOD VISION測量軟件可實(shí)現(xiàn)有無基準(zhǔn)的線輪廓、面輪廓的測量。 |
自動對焦 |
GOOD VISION測量軟件光學(xué)對焦功能,可在2-3秒快速完成對焦,對焦重復(fù)精度可達(dá)0.003mm。 |
升降燈 |
GOOD VISION測量軟件結(jié)合硬件開發(fā)可程控第五軸-升降燈,每環(huán)燈珠的照射角度經(jīng)過科學(xué)的設(shè)計(jì)驗(yàn)證,并采用模具安裝成型,可將復(fù)雜工作表面特征清晰呈現(xiàn)。 |
激光高速鎖存 |
GOOD VISION測量軟件行業(yè)激光高速鎖存功能,點(diǎn)激光在高速狀態(tài)掃描并實(shí)時(shí)鎖存數(shù)據(jù),大幅度提高點(diǎn)激光的采點(diǎn)效率,同時(shí)支持線激光應(yīng)用,GOOG VISION測量軟件可適配點(diǎn)激光和線激光。 |
同軸導(dǎo)航 |
軟件界面除影像測量窗口外,還獨(dú)立顯示一個導(dǎo)航圖像窗口。校正后導(dǎo)航窗口和影像窗口同步,操作者可以直接在導(dǎo)航大地圖點(diǎn)擊需要測量的位置,儀器影像測量坐標(biāo)立即移動至此。 |
自定義報(bào)表 |
產(chǎn)品測量完,數(shù)據(jù)可以根據(jù)客戶提供的報(bào)表模板,按模板要求將數(shù)據(jù)輸入進(jìn)去。自定義報(bào)表擁有多種輸出功能,并可設(shè)置自動換行換列。 |